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T/CASME 618-2023 分立器件生产过程污染物排放规范

T/CASME 618-2023 Pollutant Emission Standards for Semiconductor Device Manufacturing Processes

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CASME 618-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
Z 环境保护
国际标准分类号（ICS）
13.040.40 固定源排放限值
发布日期
2023-08-11
实施日期
2023-08-20
发布单位/组织
-
归口单位
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于分立器件生产过程污染物排放管理; 主要技术内容:本文件规定了分立器件生产过程污染物排放的术语和定义、总体要求、污染物产生、污染物排放控制、废物处理与回收利用、监督与报告、环保管理及培训与宣传等内容

发布历史

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研制信息

起草单位：
杭州百芯半导体有限公司、杭州百隆电子有限公司、嵊州善斌物联网科技股份有限公司
起草人：
周瑜、夏惠江、王海、寿齐吉、方明杰、何恩平
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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