T/CASME 618-2023 分立器件生产过程污染物排放规范
T/CASME 618-2023 Pollutant Emission Standards for Semiconductor Device Manufacturing Processes
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CASME 618-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-08-11
实施日期
2023-08-20
发布单位/组织
-
归口单位
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于分立器件生产过程污染物排放管理;
主要技术内容:本文件规定了分立器件生产过程污染物排放的术语和定义、总体要求、污染物产生、污染物排放控制、废物处理与回收利用、监督与报告、环保管理及培训与宣传等内容
发布历史
-
2023年08月
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研制信息
- 起草单位：
- 杭州百芯半导体有限公司、杭州百隆电子有限公司、嵊州善斌物联网科技股份有限公司
- 起草人：
- 周瑜、夏惠江、王海、寿齐吉、方明杰、何恩平
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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