T/ICMTIA 1-2019 集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范
T/ICMTIA 1-2019 Industrial Alliance for Technology Innovation of Integrated Circuit Materials - Gas Basic Specification
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA 1-2019
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2019-04-17
实施日期
2019-10-10
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
范围:本标准规范了集成电路制造用气体的生产、研发和使用的管理要求及相关测试程序，是气体生产管理和使用的指南;
主要技术内容:本标准规范了集成电路用气体的检测方法及检验报告的制作，包装与存储要求、安全和环保要求，以及生产过程的基础管理要求等
发布历史
-
2019年04月
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研制信息
- 起草单位：
- 中国船舶重工集团公司第七一八研究所、江苏南大光电材料股份有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司
- 起草人：
- 郑秋艳、李翔宇、丁成、孙江涛、计燕秋、孙建
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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