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T/ICMTIA 1-2019 集成电路材料产业技术创新联盟 气体基础规范

T/ICMTIA 1-2019 Industrial Alliance for Technology Innovation of Integrated Circuit Materials - Gas Basic Specification

团体标准 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ICMTIA 1-2019
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
-
实施日期
-
发布单位/组织
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
归口单位
-
适用范围
本标准规范了集成电路制造用气体的生产、研发和使用的管理要求及相关测试程序，是气体生产管理和使用的指南。 本标准旨在联盟成员间建立统一、共识的气体管理规范，以确保气体产品质量能够更加稳定、可靠，能够更好的满足集成电路的使用需求。 本标准由联盟成员单位自主发起并起草，发布后行业内自愿采用。

发布历史

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研制信息

起草单位：
-
起草人：
-
出版信息：
页数：- | 字数：21 千字 | 开本： -

内容描述

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