T/CI 003-2023 橡胶表面碳薄膜制备及评价方法

ICS73.080

CCSQ65

团体标准

T/CI003—2023

橡胶表面碳薄膜制备及评价方法

Preparationandevaluationmethodsofrubbersurfacegrowthofcarbonfilms

2023-01-09发布2023-01-09实施

中国国际科技促进会发布

T/CI003—2023

目次

前言.................................................................................II

1范围...............................................................................1

2规范性引用文件.....................................................................1

3术语和定义.........................................................................1

4薄膜分类及标识.....................................................................1

5碳薄膜技术要求.....................................................................2

6碳薄膜制备.........................................................................2

7供货方向薄膜生产方提供的资料.......................................................2

8工件镀膜前处理技术要求.............................................................3

9碳薄膜试验方法.....................................................................3

10试验报告..........................................................................5

11包装检验..........................................................................6

12交货准备..........................................................................6

附录A（资料性）镀膜工艺示例.........................................................7

附录B（资料性）镀膜前清洗示例.......................................................8

附录C（资料性）柔性基体断面构筑示例.................................................9

附录D（资料性）划痕法示例..........................................................10

参考文献.............................................................................11

I

T/CI003—2023

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国国际科技促进会提出并归口。

本文件起草单位：中国科学院兰州化学物理研究所、松山湖材料实验室等离子体放电团队、中国科

学院宁波材料技术与工程研究所、福州大学、广东工业大学、烟台润蚨祥油封有限公司、上海新弧源涂

层技术有限公司、华晟昇科技(成都)有限公司。

本文件主要起草人：张斌、田修波、王永欣、任志英、谭桂斌、白常宁、杜杰、冯利民、张俊

彦、强力、苏宝塍、张松林、高凯雄、靳朋礼。

II

T/CI003—2023

橡胶表面碳薄膜制备及评价方法

1范围

本文件规定了橡胶表面碳薄膜制备及评价方法，包含制备前处理、制备方法、摩擦、磨损、结合力

等。

本文件适用于各类零部件，包括丁腈橡胶、氢化丁腈橡胶、乙丙橡胶、硅橡胶等表面碳薄膜的质量、

性能检测、工艺验证等，也适用于相似环境下的零部件表面碳薄膜。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB191包装储运图示标志

GB/T8264-2008涂装技术术语

GB/T30707-2014精细陶瓷涂层结合力试验方法划痕法

GB/T38518柔性薄膜基体上涂层厚度的测量方法

ISO25178表面形状面粗糙度的参数

ASTMD3359-02胶带试验测定粘合性的方法划X法

ASTMD1894-2011塑料薄膜和薄板静态和动态摩擦系数的标准试验方法

3术语和定义

GB/T8264-2008界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

碳薄膜carbonfilm

一种以sp3和sp2键的形式结合生成的亚稳态材料，主要元素成分是碳和氢，具有高硬度和独特摩擦

特性。

橡胶动密封件rubberdynamicseal

一类具有可逆形变、无定型结构的高弹性聚合物材料，是密封装置中的一类通用基础元件，其在运

动过程中通过变形提供接触压力，补偿泄漏间隙，达到密封和防止液态或气体泄露的目的。

4薄膜分类及标识

碳薄膜的标识方法示例及说明见表1。

表1碳薄膜的标识方法示例及说明

中文名英文全称英文缩写说明

碳薄膜CarbonFilmsCF所有碳基非晶薄膜的统称

非晶碳薄膜AmorphousCarbonFilmsa-CFilms特指硬度低于40GPa的不含氢碳薄膜

金属掺杂非晶碳薄膜MetaldopedAmorphousCarbona-C:MeFilms特指硬度低于40GPa的金属掺杂不含氢

Films碳薄膜

非金属掺杂非晶碳薄膜XdopedAmorphousCarbonFilmsa-C:XFilms特指硬度低于40GPa的非金属掺杂不含

氢碳薄膜

非晶含氢碳薄膜AmorphoushydrogenatedCarbona-C:HFilms特指硬度低于40GPa的含氢碳薄膜

Films

金属掺杂含氢非晶碳薄MetaldopedAmorphousa-C:H:MeFilms特指硬度低于40GPa的金属掺杂含氢碳

1

T/CI003—2023

中文名英文全称英文缩写说明

膜hydrogenatedCarbonFilms薄膜

非金属掺杂非晶含氢碳XdopedAmorphoushydrogenateda-C:H:XFilms特指硬度低于40GPa的非金属掺杂含氢

薄膜CarbonFilms碳薄膜

四面体碳薄膜TetrahedronCarbonFilmsta-CFilms特指硬度大于40GPa的不含氢碳薄膜

金属掺杂四面体碳薄膜MetaldopedtetrahedronCarbonta-C:MeFilms特指硬度大于40GPa的金属掺杂不含氢

Films碳薄膜

非金属掺杂四面体碳薄XdopedtetrahedronCarbonta-C:XFilms特指硬度大于40GPa的非金属掺杂不含

膜Films氢碳薄膜

含氢四面体碳薄膜Tetrahedronhydrogenatedta-C:HFilms特指硬度大于40GPa的含氢碳薄膜

CarbonFilms

金属掺杂含氢四面体碳Metaldopedtetrahedronta-C:H:MeFilms特指硬度大于40GPa的金属掺杂含氢碳

薄膜hydrogenatedCarbonFilms薄膜

非金属掺杂含氢四面体Xdopedtetrahedron