T/CHBAS 48-2023 电子工业用气体 五氟乙烷
T/CHBAS 48-2023 Electronic industry gas: pentafluoroethane
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CHBAS 48-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-12-22
实施日期
2023-12-30
发布单位/组织
-
归口单位
河北省标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体五氟乙烷（以下简称五氟乙烷）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于以工业五氟乙烷为原料经纯化制备的电子工业用五氟乙烷，它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体
发布历史
-
2023年12月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八研究 所、中船（邯郸）派瑞氢能科技有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司
- 起草人：
- 倪珊珊、陈润泽、吕舜、孙加其、王佳佳、陈良、薛贺来、唐中伟
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/ZGCIT 011-2024 智能网联汽车自动驾驶仿真测试平台建设导则 1970-01-01
- T/QGCML 2673-2023 两轮汽动非道路娱乐型摩托车 2023-12-15
- T/CAAMTB 57-2021 乘用车碳陶制动盘产品标准及测试方法 2021-12-20
- T/QGCML 2784-2023 车辆仪表中人机交互系统技术要求 2023-12-21
- T/CMES 07007-2024 摇臂轴及摇臂总成 2024-04-03
- T/CHINABICYCLE 21-2023 电动自行车用钠离子蓄电池 2023-10-01
- T/ZHFCA 1013-2024 液氢燃料电池电动商用车 定型试验规程 2024-09-24
- T/SSAE 8-2024 报废机动车回收拆解企业 再制造技术规范 再制造旧件的回收技术要求 2024-04-15
- T/CAAMTB 186-2023 营运货车智能监管与安全运营平台 2023-12-29
- T/CSTE 0416-2023 质量分级及“ 领跑者 ”评价要求 渣土自卸车上装 2023-09-25