T/ICMTIA ESG0026-2022 集成电路用气体氯化氢

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标准号

T/ICMTIA ESG0026-2022

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

国际标准分类号（ICS）

01.020 术语学(原则和协调配合)

发布日期

2022-05-10

实施日期

2022-05-31

发布单位/组织

归口单位

中关村集成电路材料产业技术创新联盟

适用范围

主要技术内容:本文件规定了集成电路用氯化氢的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存以及安全。本文件适用于集成电路制造过程中使用的氯化氢

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起草单位：: 中巨芯科技股份有限公司、浙江博瑞电子科技有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中芯国际集成电路制造(天津)有限公司、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司、金瑞泓科技(衢州)有限公司

起草人：: 陈刚、张学良、贺辉龙、张广第、徐聪、宁海水、张雪刚、陈林、朱智敏、赵晓亚、王宁、陈晓平、柳彤、郑秋艳、黄晶、王立、代大全、傅俊、王震、李艳玲

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