GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备

ICS31-550

L95

中华人民共和国国家标准

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GBT374662019

氮化镓激光剥离设备

Laserlift-offeuimentusedforGaN

qp

2019-06-04发布2019-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT374662019

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4产品分类和标记…………………………2

4.1分类…………………2

4.2型号标记……………3

5工作条件…………………4

5.1电源…………………4

5.2环境温度……………4

5.3相对湿度……………4

5.4大气压力……………4

5.5洁净室等级…………………………4

5.6电磁干扰……………4

5.7地基振动要求………………………4

6要求………………………4

6.1外观…………………4

6.2激光要求……………4

6.3扫描台………………5

6.4整机性能……………5

6.5电气要求……………5

6.6控制装置……………5

6.7软件要求……………6

6.8电磁兼容……………6

6.9噪声…………………6

6.10平均无故障时间……………………6

6.11安全要求……………6

7检测方法…………………7

7.1