JJF 2306-2025 微机电系统(MEMS)惯性冲击开关校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF2306—2025

微机电系统(MEMS)惯性冲击开关

校准规范

CalibrationSecificationforMicro-electromechanicalSstemsMEMS

py()

InertialShockSwitches

2025-09-08发布2025-12-08实施

国家市场监督管理总局发布

JJF2306—2025

微机电系统(MEMS)惯性

冲击开关校准规范

JJF2306—2025

CalibrationSpecificationforMicro-electromechanical

SstemsMEMSInertialShockSwitches

y()

归口单位:全国惯性技术计量技术委员会

主要起草单位:北京大学

安徽京芯传感科技有限公司

广东省计量科学研究院

北京智芯传感科技有限公司

参加起草单位:北京空间机电研究所

本规范委托全国惯性技术计量技术委员会负责解释

JJF2306—2025

本规范主要起草人:

张威北京大学

()

张亚婷安徽京芯传感科技有限公司

()

杨德俊广东省计量科学研究院

()

李宋北京智芯传感科技有限公司

()

参加起草人:

周浩楠北京智芯传感科技有限公司

()

白先民北京空间机电研究所

()

陈得民北京大学

()

JJF2306—2025

目录

引言

………………………(Ⅱ)

范围

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

术语和定义

3……………(1)

概述

4……………………(1)

计量特性

5………………(2)

校准条件

6………………(2)

校准环境条件

6.1………………………(2)

仪器及设备

6.2…………(3)

校准项目及方法

7………………………(3)

校准项目

7.1……………(3)

校准方法

7.2……………(3)

校准结果表达

8…………(5)

复校时间间隔

9…………(6)

附录校准证书内页格式

A……………(7)

附录惯性冲击开关测量不确定度评估示例

BMEMS………………(8)

Ⅰ

JJF2306—2025

引言

通用计量术语及定义国家计量标准规范编号

JJF1001—2011《》、JJF1071—2010《

规则测量不确定度评定与表示共同构成制定本规范的基础性系

》、JJF1059.1—2012《》

列规范

。

本规范在参考低阈值冲击加速度开关通用规范和

GJB8154—2013《》IEC62047—

半导体器件微机电器件第部分微机电惯性冲击开关阈值测试方法

40《40:》(Sem-

iconductordevices—Micro-electromechanicaldevices—Part40:TestmethodsofMicro-

中和的基础上并结合

electromechanicalinertialshockswitchthreshold)3.15.2.1.2,

微机电系统惯性冲击开关的自身特性编制

(MEMS)。

本规范为首次发布

。

Ⅱ

JJF2306—2025

微机电系统(MEMS)惯性冲击开关

校准规范

1范围

本规范规定了微机电系统惯性冲击开关的校准项目和校准方法本规范

(MEMS)。

适用于量程为22的常开型和常闭型冲击开关的校准

490m/s~98000m/s。

2引用文件

本规范引用了下列文件

:

冲击碰撞试验台检定规程

JJG1174—2021、

振动冲击转速计量术语及定义

JJF1156—2006

惯性技术计量术语及定义

JJF1675—2017

半导体器件微机电器件第部分微机电惯性冲击开关阈值测

IEC62047-4040:

试方法

(Semiconductordevices—Micro-electromechanicaldevices—Part40:Testmeth-

odsofMicro-electromechanicalinertialshockswitchthreshold)

凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改单适用于本规范

,()。

3术语和定义

和界定的以及下列术语和定义适用

JJF1675—2017、JJF1156—2006IEC62047-40

于本规范

。

惯性冲击开关

3.1MEMSMEMSinertialshockswitch

采用技术加工制作并在规定大小的加速度作用下通过固定电极和可动电

MEMS,

极的接触分离实现闭合断开功能的器件

、、。

注:也称为阈值开关、加速度开关或者g值开关。

动作

3.2act

冲击加速度开关动作是指开关闭合常开型或断开常闭型

()()。

静态阈值

3.3staticthreshold

在恒定加速度作用下使惯性冲击开关动作的最小加速度值

,MEMS。

动态阈值

3.4dynamicthreshold

在冲击脉冲加速度作用下使惯性冲击开关动作的冲击加速度值

,MEMS。

4概述

惯性冲击开关简称开关按常态下的开关闭合断开状态可分为常闭型

MEMS()、

和常开型

。

开关的工作原理可动电极质量块在敏感方向加速度的作用下偏离平衡位置

:(),

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