SJ 20714-1998 砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法
SJ 20714-1998 Test method for sub-surface damege of gallium arsenide polished wafer by X-ray double crystal diffraction
行业标准-电子
中文(简体)
现行
页数：4页
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格式：PDF
基本信息
标准号
SJ 20714-1998
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
1998-03-18
实施日期
1998-05-01
发布单位/组织
-
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
1998年03月
研制信息
- 起草单位：
- 电子工业部第四十六研究所
- 起草人：
- 张世敏、郝建民、段曙光
- 出版信息：
- 页数：4页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
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