GB/T 45340-2025 金属及其他无机覆盖层 镀层厚度的测量 斐索多光束干涉法

ICS25220202522040

;

CCSA.29...

中华人民共和国国家标准

GB/T45340—2025

金属及其他无机覆盖层镀层

厚度的测量斐索多光束干涉法

Metallicandothernon-organiccoatings—Measurementofcoating

thicknesses—Fizeaumultiple-beaminterferometrymethod

ISO38681976MOD

(:,)

2025-02-28发布2025-09-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T45340—2025

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

原理

4………………………2

设备

5………………………2

影响测量精度的因素

6……………………2

反射覆盖层

6.1…………………………2

台阶形状

6.2……………3

读数精度

6.3……………4

表面平整度

6.4…………………………4

台阶清晰度

6.5…………………………4

粗糙度

6.6………………4

洁净度

6.7………………4

台阶的制备

6.8…………………………4

校准

7………………………4

检测步骤

8…………………4

台阶制备

8.1……………4

测量程序

8.2……………5

测量精度

9…………………7

Ⅰ

GB/T45340—2025

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件修改采用金属及其他无机覆盖层镀层厚度的测量斐索多光束干涉

ISO3868:1976《

法

》。

本文件与相比做了下述结构调整

ISO3868:1976:

第章对应中的第章

———4ISO3868:19762;

第章对应中的第章

———5ISO3868:19764;

第章对应中的第章

———6ISO3868:19765;

第章对应中的第章

———7ISO3868:19766;

第章对应中的第章其中对应中的对应

———8ISO3868:19767,8.1.2ISO3868:19767.1.1,8.1.3

中的对应中的

ISO3868:19767.1.2,8.2ISO3868:19767.2、7.2.1~7.2.5;

第章对应中的第章

———9ISO3868:19768。

本文件与的技术差异及其原因如下

ISO3868:1976:

增加了适用范围见第章

———(1);

增加了规范性引用的见第章以适应我国的技术条件

———GB/T3138、GB/T12334(3),;

更改了测试目镜刻度单位和指示线的定义见的

———、(3.1、3.2、3.5,ISO3868:19763.1、3.2、

以适应我国的技术条件

3.5),;

删除了厚度测量精确度影响因素的引导语以适应我国的技术条件

———,;

更改了读数精度要求见的以适应我国的技术条件

———(6.3,ISO3868:19765.3),;

更改了表面平整度要求见的以适应我国的技术条件

———(6.4,ISO3868:19765.4),;

更改了台阶清晰度要求见的以适应我国的技术条件

———(6.5,ISO3868:19765.5),;

更改了洁净度要求见的以适应我国的技术条件

———(6.7,ISO3868:19765.7),;

增加了台阶制备通则见以适应我国的技术条件

———(8.1.1),。

本文件做了下列编辑性改动

:

删除了中的注和注

———ISO3868:19767.1.2.312。

本文件由中国机械工业联合会提出

。

本文件由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会归口

(SAC/TC57)。

本文件起草单位中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司重庆长安汽车股份有限公司

:、、

东方电气集团东方汽轮机有限公司浙江省冶金研究院有限公司湖南永盛新材料股份有限公司浙江

、、、

方泉汽车标准件股份有限公司湖南天氟新材料有限公司宁波一彬电子科技股份有限公司

、、。

本文件主要起草人段海涛贾丹黄平王伟周夏凉凃杰松曾超巩秀芳徐群飞方瑞海

:、、、、、、、、、、

孙友贝李雪梅董其宝熊军锋

、、、。

Ⅲ

GB/T45340—2025

金属及其他无机覆盖层镀层

厚度的测量斐索多光束干涉法

1范围

本文件描述了金属及其他无机覆盖层镀层厚度测量的斐索多光束干涉方法

。

本文件适用于采用斐索多光束干涉法对最大厚度不超过且反射率高的金属及其他无机覆盖

2μm

层镀层厚度的测量

。

本文件不适用于搪瓷类覆盖层的测量

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

金属及其他无机覆盖层表面处理术语

GB/T3138

金属和其他非有机覆盖层关于厚度测量的定义和一般规则

GB/T12334

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T3138、GB/T12334。

31

.

测微目镜filarmicrometereyepiece

用于观察和测量图像的装置

。

注包括可调节透镜一条随旋转手轮移动的指示线以及横跨视场的一系列计数线

:,,。

32

.

刻度单位filarunits

测微仪控制装置上的刻度

。

注与长度单位成比例

:。

33

.

斐索平板Fizeauplate

表面光滑且具有高反射率和低吸收率的光学平板

,。

34

.

干涉条纹fringelines

由光波干涉而形成的暗线

。

35

.

指示线hairlines

测微目镜内随旋转手轮移动的细线

。

注用来测量干涉条纹的间距和偏移量

:。

1