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T/ZSA 324-2026 等离子体化学气相沉积设备用密封圈技术规范

T/ZSA 324-2026 Technical Specification for O-ring Used in PECVD Equipment

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ZSA 324-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
M73 视频、脉冲系统设备
国际标准分类号（ICS）
01.040.01 综合、术语学、标准化、文献 (词汇)
发布日期
2026-01-13
实施日期
2026-01-14
发布单位/组织
-
归口单位
中关村标准化协会
适用范围
本标准规定了等离子体化学气相沉积设备用O型密封圈的基本性能要求、设计参数、材料选择、试验方法以及包装、运输和贮存等方面的技术要求。 本标准适用于半导体制造过程中等离子体化学气相沉积设备的真空系统、加热系统、高频电源及控制系统中使用的各类密封圈。 本标准规定了等离子体化学气相沉积设备用O型密封圈的基本性能要求、设计参数、材料选择、试验方法以及包装、运输和贮存等方面的技术要求。 本标准适用于半导体制造过程中等离子体化学气相沉积设备的真空系统、加热系统、高频电源及控制系统中使用的各类密封圈

发布历史

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研制信息

起草单位：
拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司、上海芯密科技股份有限公司
起草人：
吕欣、何沛、朱家宽、高洁、顾嘉琦、程庆魁、孙婷婷
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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