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SJ/T 10627-1995 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法

SJ/T 10627-1995 Test methods for oxygen precipitation characterization of silicon wafers by measurement of interstitial oxygen reduction

行业标准-电子 中文(简体) 废止 页数：5页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
SJ/T 10627-1995
标准类型
行业标准-电子
标准状态
废止
中国标准分类号（CCS）
L90/94 电子设备与专用材料、零件、结构件
国际标准分类号（ICS）
77.040 金属材料试验
发布日期
1995-04-22
实施日期
1995-10-01
发布单位/组织
-
归口单位
-
适用范围
-

发布历史

文前页预览

SJ/T 10627-1995 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法-第1页

研制信息

起草单位：
-
起草人：
-
出版信息：
页数：5页 | 字数：- | 开本： -

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