JJF 2160-2024 激光共聚焦显微镜校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF2160—2024

激光共聚焦显微镜校准规范

CalibrationSpecificationforLaserConfocalMicroscopes

2024-10-19发布2025-04-19实施

国家市场监督管理总局发布

JJF2160—2024

激光共聚焦显微镜校准规范

—

CalibrationSpecificationforJJF21602024

LaserConfocalMicroscopes

归口单位全国几何量长度计量技术委员会

:

主要起草单位中国计量科学研究院

:

哈尔滨工业大学

参加起草单位南京市计量监督检测院

:

本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释

JJF2160—2024

本规范主要起草人

:

施玉书中国计量科学研究院

()

刘俭哈尔滨工业大学

()

张树中国计量科学研究院

()

参加起草人

:

王珉南京市计量监督检测院

()

刘辰光哈尔滨工业大学

()

皮磊中国计量科学研究院

()

郭鑫南京市计量监督检测院

()

JJF2160—2024

目录

引言

………………………(Ⅱ)

范围

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

概述

3……………………(1)

计量特性

4………………(2)

水平方向长度测量误差

4.1……………(2)

垂直方向长度测量误差

4.2……………(2)

水平方向长度测量重复性

4.3…………(2)

垂直方向长度测量重复性

4.4…………(2)

水平方向正交误差

4.5…………………(2)

畸变

4.6…………………(2)

最大可测倾角

4.7………………………(2)

水平方向拼接误差

4.8…………………(2)

垂直方向拼接误差

4.9…………………(2)

载物台定位误差

4.10…………………(2)

校准条件

5………………(3)

环境条件

5.1……………(3)

校准项目和校准用标准器

5.2…………(3)

校准项目和校准方法

6…………………(4)

水平方向长度测量误差

6.1……………(4)

垂直方向长度测量误差

6.2……………(6)

水平方向长度测量重复性

6.3…………(8)

垂直方向长度测量重复性

6.4…………(8)

水平方向正交误差

6.5…………………(8)

畸变

6.6…………………(9)

最大可测倾角

6.7………………………(10)

水平方向拼接误差

6.8…………………(11)

垂直方向拼接误差

6.9…………………(11)

载物台定位误差

6.10…………………(12)

校准结果表达

7…………(12)

复校时间间隔

8…………(12)

附录激光共聚焦显微镜长度测量误差的不确定度评定

A…………(13)

附录激光共聚焦显微镜校准证书内页格式

B()…………………(15)

Ⅰ

JJF2160—2024

引言

通用计量术语及定义测量不确定度评定与

JJF1001—2011《》、JJF1059.1—2012《

表示国家计量校准规范编写规则测量仪器特

》、JJF1071—2010《》、JJF1094—2002《

性评定共同构成支撑本规范制定的基础性系列规范

》。

本规范为首次发布

。

Ⅱ

JJF2160—2024

激光共聚焦显微镜校准规范

1范围

本规范适用于激光共聚焦显微镜的校准其他基于共聚焦原理的显微镜校准也可参

,

照本规范

。

2引用文件

本规范引用了下列文件

:

产品几何技术规范表面结构轮廓法测量标

GB/T19067.1—2003(GPS)

准第部分实物测量标准

1:

产品几何技术规范光学共焦显微镜计量特性及测

GB/T34879—2017(GPS)

量不确定度评定导则

产品几何量技术规范表面结构区域法第

ISO25178-607:2019(GPS):607

部分非接触共焦显微镜仪器的标称特性

:()[Geometricalproductspecifications

(GPS)—Surfacetexture:Areal—Part607:Nominalcharacteristicsofnon-contact

(confocalmicroscopy)instruments]

凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改单适用本规范

,()。

3概述

激光共聚焦显微镜以下简称共聚焦显微镜是一种利用共轭点照明点探测原

()、

理通过激光逐点照明扫描和空间针孔调制技术获取光学层析图像从而得到被测物体

,,

二维图像或三维表面形貌参数的仪器共聚焦显微镜具有多种照明约束和探测形式被

。,

广泛应用于材料科学微纳米加工半导体器件和生命科学等领域共聚焦显微镜的结

、、。

构示意图见图

1。

1