T/QGCML 396-2022 线切割后清洗机

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标准号

T/QGCML 396-2022

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

国际标准分类号（ICS）

23.100.01 流体动力系统综合

发布日期

2022-10-10

实施日期

2022-10-25

发布单位/组织

归口单位

全国城市工业品贸易中心联合会

适用范围

主要技术内容:本文件规定了线切割后清洗机的术语和定义、材料要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输及贮存。本文件适用于硅片线切割后清洗机（以下简称清洗机）的生产和检验

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起草单位：: 浙江艾科半导体设备有限公司、天通吉成机器技术有限公司、上海超硅半导体股份有限公司、上海至纯洁净系统科技股份有限公司、竹菱（上海）电子贸易有限公司、科倍氟科技（上海）有限公司、湖州东科电子石英股份有限公司、基恩士（中国）有限公司、三菱电机自动化（中国）有限公司

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