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T/GDCKCJH 125-2026 真空等离子表面处理设备及工艺规范

T/GDCKCJH 125-2026 Vacuum plasma surface treatment equipment and process specifications

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/GDCKCJH 125-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
M73 视频、脉冲系统设备
国际标准分类号（ICS）
29.220.01 电池和蓄电池综合
发布日期
2026-02-06
实施日期
2026-02-10
发布单位/组织
-
归口单位
广东省测量控制技术与装备应用促进会
适用范围
本文件适用于以真空腔室为处理空间，在5 mTorr～2000 mTorr等低压环境下，通过射频(RF)或中频(MF)电源将工艺气体激发为等离子体，对工件表面进行清洗、活化、刻蚀或表面改性的真空等离子表面处理设备。本文件不适用于大气等离子表面处理设备，仅用于实验研究的真空等离子诊断装置，以高压放电、弧光放电为主的真空处理设备。 本文件规定了真空等离子表面处理设备的分类与型号、技术要求、工艺规范、试验方法、检验规则，以及标志、包装、运输和贮存要求

发布历史

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研制信息

起草单位：
东莞市晟鼎精密仪器有限公司、华南理工大学、广东斯泰克电子科技有限公司、大湾区大学
起草人：
冼健威、薛家祥、欧宁、田艳艳、孙俊、陈洪高、马金虎、张新平、岳行山、侯振健、汤水泉、白力国、龙昌东、杨文敏、黄家福、邓雅伦
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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