JJF 2291-2025 辉光放电质谱仪校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF2291—2025

辉光放电质谱仪校准规范

CalibrationSpecificationforGlowDischargeMassSpectrometers

2025-09-08发布2025-12-08实施

国家市场监督管理总局发布

JJF2291—2025

辉光放电质谱仪校准规范

JJF2291—2025

CalibrationSpecificationfor

GlowDischargeMassSpectrometers

归口单位:全国物理化学计量技术委员会

主要起草单位:中国计量科学研究院

参加起草单位:清华大学

钢研纳克检测技术股份有限公司

中国航发北京航空材料研究院

本规范委托全国物理化学计量技术委员会负责解释

JJF2291—2025

本规范主要起草人:

周涛中国计量科学研究院

()

张见营中国计量科学研究院

()

唐一川中国计量科学研究院

()

参加起草人:

邢志清华大学

()

毕经亮钢研纳克检测技术股份有限公司

()

高颂中国航发北京航空材料研究院

()

JJF2291—2025

目录

引言

………………………(Ⅱ)

范围

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

术语和计量单位

3………………………(1)

概述

4……………………(1)

计量特性

5………………(1)

校准条件

6………………(2)

环境条件

6.1……………(2)

载气

6.2…………………(2)

测量标准及其他设备

6.3………………(2)

校准项目和校准方法

7…………………(3)

背景噪声

7.1……………(3)

质量稳定性

7.2…………(3)

质量分辨率

7.3…………(3)

灵敏度

7.4………………(3)

检出限

7.5………………(3)

丰度灵敏度

7.6…………(4)

全扫描时间

7.7…………(4)

记忆效应

7.8……………(4)

测量重复性与示值误差

7.9……………(4)

校准结果表达

8…………(4)

复校时间间隔

9…………(5)

附录辉光放电质谱仪推荐测量条件

A………………(6)

附录校准原始记录参考格式

B………(7)

附录校准证书内页推荐格式

C………(9)

附录示值误差校准不确定度评定示例

D……………(11)

Ⅰ

JJF2291—2025

引言

国家计量校准规范编写规则通用计量术语及

JJF1071—2010《》、JJF1001—2011《

定义和测量不确定度评定与表示共同构成支撑本规范制定工作

》JJF1059.1—2012《》

的基础性系列规范

。

本规范为首次发布

。

Ⅱ

JJF2291—2025

辉光放电质谱仪校准规范

1范围

本规范适用于辉光放电质谱仪的校准

。

2引用文件

本规范引用了下列文件

:

四极杆电感耦合等离子体质谱仪校准规范

JJF1159—2006

凡注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文件

,;,

其最新版本包含所有的修改单适用于本规范

()。

3术语和计量单位

质量分辨率

3.1massresolution

质谱仪分辨两个相邻质谱峰的能力以某元素质量数与质谱峰高处峰宽的商

,5%

表示

。

灵敏度

3.2sensitivity

高纯金属中主元素在质谱仪检测器上得到的信号响应以每秒计数表示

,(cps)。

记忆效应

3.3memoryeffect

新样品的测量结果受到残存在离子源和分析器内部的已分析样品的影响表现出

,,

测量结果与测量次序有关

。

4概述

辉光放电质谱仪以下简称是利用辉

(glowdischargemassspectrometry,GD-MS)

光放电源作为离子源与质谱分析器连接对固体样品中化学成分进行分析的仪器其原

,。

理是在低压惰性气体通常为高纯氛围中施加电场形成等离子体样品作为阴极

(Ar),,

表面被正离子撞击发生溅射溅射出的原子进入等离子体中电离产生的离子经过离子

,,

光学透镜聚焦后进入质量分析器按照荷质比分离既可以按照荷质比进行定性分析也

,,

可以按照荷质比的离子数目进行定量分析

。

主要由辉光放电离子源质量分析器离子检测器三部分组成配备有数

GD-MS、、,

据处理系统真空系统供电控制系统等

、、。

5计量特性

的计量特性见表

GD-MS1。

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