SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件
SJ/T 10478-1994 Magnetron sputtering equipment general technical specification
行业标准-电子
简体中文
现行
页数：10页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
SJ/T 10478-1994
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
1994-04-11
实施日期
1994-10-01
发布单位/组织
电子工业部
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
1994年04月
研制信息
- 起草单位：
- 起草人：
- 出版信息：
- 页数：10页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
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定制服务
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