SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语
SJ/T 10152-1991 SJ/T 10152-1991 Main Process Equipment Terminology for Integrated Circuits
行业标准-电子
简体中文
废止
页数：67页
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格式：PDF
基本信息
标准号
SJ/T 10152-1991
标准类型
行业标准-电子
标准状态
废止
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
1991-04-02
实施日期
1991-07-01
发布单位/组织
电子工业部
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
1991年04月
研制信息
- 起草单位：
- 起草人：
- 出版信息：
- 页数：67页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
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