T/CASME 1912-2025 半导体用砂轮划片机技术规范
T/CASME 1912-2025 Semiconductor grinding machine technical specification for diamond blade cutting tool
团体标准
中文(简体)
现行
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|
格式:PDF
基本信息
标准号
T/CASME 1912-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2025-01-24
实施日期
2025-02-24
发布单位/组织
-
归口单位
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于切割分离半导体材料砂轮划片机的设计、生产和检验;
主要技术内容:本文件规定了半导体用砂轮划片机的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等
发布历史
-
2025年01月
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研制信息
- 起草单位:
- 沈阳和研科技股份有限公司、江苏京创先进电子科技有限公司、北京中电科电子装备有限公司、合肥艾凯瑞斯智能科技有限公司、锦矽半导体(上海)有限公司、南通伟腾半导体科技有限公司、苏州赛尔科技有限公司、深圳华腾半导体设备有限公司、通标国华标准技术咨询(北京)有限公司、华硕天启(海南)科技发展有限公司
- 起草人:
- 石文、杨云龙、郭东、胡天、朱恺华、刘实、冉隆光、宋勇超、刘骏、高阳、孙志超、龚胜、徐志强、杨宏亮、张海岩、李华、任国静、王茹、包开
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
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