DB22/T 2651-2017 数字式激光球面干涉仪校准规范

ICS17.180.30

N35

备案号：56355-2017DB22

吉林省地方标准

DB22/T2651—2017

数字式激光球面干涉仪校准规范

Digitallasersphericalinterferometerscalibrationspecification

2017-06-12发布2017-08-12实施

吉林省质量技术监督局发布

DB22/T2651—2017

前言

本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。

本标准由吉林省工业与信息化厅归口。

本标准起草单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所。

本标准主要起草人：马冬梅、张海涛、于杰、张文龙。

I

DB22/T2651—2017

数字式激光球面干涉仪校准规范

1范围

本标准规定了数字式激光球面干涉仪的术语和定义、概述、特性、校准条件、校准项目和校准方法。

本标准适用于新制造（或新购置）、使用中、维修后的数字式激光球面干涉仪的校准。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T17163-2008几何量测量器具术语基本术语

3术语和定义

GB/T17163-2008中确立的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

光学波面opticalwavefront

由干涉仪主机出射的或由参考面反射（透射）的或由被测光学元件表面（或光学系统）反射（透射）

的携带面形偏差（光学系统波像差）信息的光。

3.2

峰谷值peaktovalleyvalue

被检验波前（或镜面）范围内与最佳匹配的参考波前的光程差最高（前）点到最低（后）点的距离，

简称PV值。

3.3

均方根值rootmeansquarevalue

被检验波前（或镜面）范围内与最佳匹配的参考波前的光程差平方的和的平均值的开方，简称RMS

值。

4概述

4.1用途

数字式激光球面干涉仪主要用于光学元件凸凹表面面形和光学成像系统波像差的测量。

4.2工作原理

数字式激光球面干涉仪根据光学干涉原理（如图1）采用由干涉仪的参考面反射的光学波面和其透

射的光学波面经被测试光学元件（或光学系统）反射后二者产生干涉。通过移相技术产生多幅移相干涉

图，用计算机控制CCD摄像机对移相干涉图进行同步采集，对干涉图信息进行数据分析处理后得到被测

试光学元件（或光学系统）的波前信息（PV值、RMS值）。

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DB22/T2651—2017

图1数字式激光球面干涉仪组成与工作原理图

4.3结构

数字式激光球面干涉仪主要由稳定激光源（可见波段、红外波段等）、扩束准直光学系统、参考

镜头、干涉图光学成像系统、CCD图像采集系统、电控系统及图像分析计算软件等部分组成。

5特性

5.1外观

5.1.1数字式激光球面干涉仪应标注型号、制造厂名、制造日期和编号。

5.1.2成像光路中的光学零件表面不应有目视可见的灰尘、霉斑、脱膜或划痕等。

5.2工作正常性

5.2.1各调整机构工作时应平稳、灵活、无卡滞和松动现象。

5.2.2数字式激光球面干涉仪各部件及干涉仪主机与计算机的电缆连接可靠，接通电源后，各电器部

分应正常工作；激光光源稳定时间不应超过干涉仪使用说明规定的正常水平，参考镜安装顺畅，不应产

生卡滞。

5.2.3监视器工作时，屏幕上的干涉图像应清晰，无闪屏现象。

5.3示值误差

数字式激光球面干涉仪示值误差用PV值和RMS值表示，应符合表1的要求。

表1数字式激光球面干涉仪示值误差

通光口径一级数字式激光球面干涉仪二级数字式激光球面干涉仪

mmPV值RMS值PV值RMS值

nmnmnmnm

100≤32≤8≤62≤20

150≤32≤10≤62≤20

300≤62≤20≤80≤25

5.4测量重复性

5.4.1一级数字式激光球面干涉仪的测量重复性不大于3nm(RMS)。

5.4.2二级数字式激光球面干涉仪的测量重复性不大于5nm(RMS)。

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DB22/T2651—2017

6校准条件

6.1环境条件

校准环境条件如下：

a)环境温度：温度范围22C3C，温度变化量不大于0.5C/h；

b)相对湿度：不大于