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T/ZSA 231-2024 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

T/ZSA 231-2024 The testing method for half-width of X-ray double-crystal swing curve of gallium oxide monocrystalline wafers

团体标准 现行 页数：1页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ZSA 231-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
-
实施日期
-
发布单位/组织
中关村标准化协会
归口单位
-
适用范围
本文件规定了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。 本文件适用于熔体法及其他方法生长的和定向切割晶锭制备的氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。 本文件适用于β相氧化镓单晶。

发布历史

文前页预览

T/ZSA 231-2024 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法-第1页

研制信息

起草单位：
-
起草人：
-
出版信息：
页数：1页 | 字数：13 千字 | 开本： -

内容描述

ICS29.045

CCSH21

团体标准

T/ZSA231-2024

氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽

测试方法

TestmethodforfullwidthathalfmaximumofdoublecrystalX-rayrockingcurve

ofGa2O3singlecrystalsubstrate

2024-05-15发布2024-05-16实施

中关村标准化协会发布

T/ZSA231-2024

目录

前言..............................................................................II

氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法...........................................1

1范围.................................................................................1

2规范性引用文件.......................................................................1

3术语和定义...........................................................................1

4检测原理.............................................................................1

4.1晶体X射线衍射原理.................................................................2

4.2摇摆曲线测试原理...................................................................2

4.3晶体摇摆曲线半高宽.................................................................2

5仪器及校准...........................................................................2

5.1光路配置...........................................................................2

5.2样品台.............................................................................3

5.3仪器校准...........................................................................3

6测试样品.............................................................................3

7干扰因素.............................................................................3

8测试环境.............................................................................4

9测试步骤.............................................................................4

10精密度..............................................................................4

11测试报告............................................................................4

附录A................................................................................6

参考文献...............................................................................7

I

T/ZSA231-2024

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