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T/ZSA 231-2024 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

T/ZSA 231-2024 The testing method for half-width of X-ray double-crystal swing curve of gallium oxide monocrystalline wafers

团体标准 中文(简体) 现行 页数：9页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ZSA 231-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 金属物理性能试验方法
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2024-05-15
实施日期
2024-05-16
发布单位/组织
-
归口单位
中关村标准化协会
适用范围
范围:本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。 本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法; 主要技术内容:本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法

发布历史

文前页预览

T/ZSA 231-2024 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法-第1页
T/ZSA 231-2024 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法-第2页

研制信息

起草单位：
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京镓创科技有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京邮电大学、北京聚仪共享科技有限公司
起草人：
李培刚、宫学源、闫方亮、李龙、杨丽霞、王进进、朱勋、郑红军、刘祎晨、刘紫洋
出版信息：
页数：9页 | 字数：- | 开本： -

内容描述

ICS29.045

CCSH21

团体标准

T/ZSA231-2024

氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽

测试方法

TestmethodforfullwidthathalfmaximumofdoublecrystalX-rayrockingcurve

ofGa2O3singlecrystalsubstrate

2024-05-15发布2024-05-16实施

中关村标准化协会发布

T/ZSA231-2024

目录

前言..............................................................................II

氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法...........................................1

1范围.................................................................................1

2规范性引用文件.......................................................................1

3术语和定义...........................................................................1

4检测原理.............................................................................1

4.1晶体X射线衍射原理.................................................................2

4.2摇摆曲线测试原理...................................................................2

4.3晶体摇摆曲线半高宽.................................................................2

5仪器及校准...........................................................................2

5.1光路配置...........................................................................2

5.2样品台.............................................................................3

5.3仪器校准...........................................................................3

6测试样品.............................................................................3

7干扰因素.............................................................................3

8测试环境.............................................................................4

9测试步骤.............................................................................4

10精密度..............................................................................4

11测试报告............................................................................4

附录A................................................................................6

参考文献...............................................................................7

I

T/ZSA231-2024

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