GB/T 28634-2025 微束分析 电子探针显微分析 块状试样波谱法定量点分析

ICS7104099

CCSG.04.

中华人民共和国国家标准

GB/T28634—2025/ISO224892016

:

代替GB/T28634—2012

微束分析电子探针显微分析

块状试样波谱法定量点分析

Microbeamanalysis—Electronprobemicroanalysis—Quantitativepoint

analysisforbulkspecimensusingwavelengthdispersiveX-rayspectroscopy

ISO224892016IDT

(:,)

2025-04-25发布2025-11-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T28634—2025/ISO224892016

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

缩略语

3……………………1

定量过程

4…………………2

检测报告

5…………………7

附录资料性物理效应和校正

A()………………………8

附录资料性不同校正方法概述

B()……………………9

附录资料性有化学效应的k比值测量

C()“”…………10

参考文献

……………………11

Ⅰ

GB/T28634—2025/ISO224892016

:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规

GB/T1.1-2020《1:》

定起草

。

本文件代替微束分析电子探针显微分析块状试样波谱法定量点分

GB/T28634—2012《

析与相比除结构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

》,GB/T28634—2012,,:

增加了扫描电镜和能谱仪的缩略语见第章

a)(3);

更改了对分析体积的要求分析的体积应大于射线的激发体积改为分析体积宜均匀并

b),“X”“

大于射线激发体积见年版的

X”(4.4.1,20124.4.1);

更改了对分析晶体选择的要求分析晶体应该根据仪器所带的晶体材料进行选择力求用一

c),“,

个共同的衍射晶体测定一组相关元素以减小谱仪位置重复误差改为分析晶体宜利用仪器

,”“

生产商提供的资料或从参考书中获得的资料选择见年版的

”(4.4.8,20124.4.8);

附录的性质由规范性更改为资料性

d)C。

本文件等同采用微束分析电子探针显微分析块状试样波谱法定量点分析

ISO22489:2016《》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC38)。

本文件起草单位中国科学院上海硅酸盐研究所

:。

本文件主要起草人曾毅李香庭彭帆

:、、。

本文件于年首次发布本次为第一次修订

2012,。

Ⅲ

GB/T28634—2025/ISO224892016

:

引言

电子探针显微分析已经广泛应用于材料组成元素的定量分析这是一种典型的仪器分析方法电

。,

子探针显微分析仪使用的方便性已经得到了很大改善要用这种有力的工具获得准确的定量结果需

。,

要正确地使用仪器为了获得可靠的数据还需要最佳的操作程序例如试样制备特征射线强度测

。,,、X

量和由射线强度计算质量分数等本文件给出了这些标准操作程序

X,。

Ⅳ

GB/T28634—2025/ISO224892016

:

微束分析电子探针显微分析

块状试样波谱法定量点分析

1范围

本文件规定了应用电子探针显微分析仪或者安装在扫描电镜的波谱仪通过电子束

(SEM)(WDS),

与试样相互作用产生的射线对试样微米尺度体积内的元素进行定量分析的要求

X。

本文件还包括如下内容

:

定量分析原理

———;

本方法涉及的元素质量分数和标准物质的一般范围

———、;

仪器的一般要求

———;

有关试样制备实验条件选择分析测量和报告等基本过程

———、、。

本文件适用于电子束垂直入射到表面平滑均匀的块状试样的定量分析对仪器和数据处理软件

、。

没有特殊的要求使用者宜从仪器制造厂家获得仪器安装条件详细的操作程序及仪器规格等信息

。、。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

检测和校准实验室能力的通用要求

GB/T27025—2019(ISO/IEC17025:2017,IDT)

注被引用的内容与被引用的内容没有技术上的差异

:GB/T27025—2019ISO/IEC17025:2005。

微束分析电子探针显微分析波谱法实验参数测定导则

ISO14594(Microbeamanalysis—E-

lectronprobemicroanalysis—Guidelinesforthedeterminationofexperimentalparametersforwave-

lengthdispersivespectroscopy)

注微束分析电子探针显微分析波谱法实验参数测定导则

:GB/T30705—2014(ISO14594:2009,MOD)

微束分析电子探针显微分析标准样品技术条件导则

ISO14595[Microbeamanalysis—

Electronprobemicroanalysis—Guidelinesforthespecificationofcertifiedreferencematerials(CRMs)]

注微束分析电子探针显微分析标准样品技术条件导则

:GB/T4930—2021(ISO14595:2014,IDT)

3缩略语

能谱仪

EDS:(energydispersivespectrometer)

电子探针显微分析仪

EPMA:(electronprobemicroanalyzer)

脉冲高度分析器

PHA:(pulseheightanalyser)

峰背比

P/B:(peaktobackgroundratio)

扫描电镜

SEM:(scanningelectronmicroscope)

1