T/ZGM 005-2024 半导体行业超纯水工艺预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证技术要求
T/ZGM 005-2024 The technical requirements for ion exchange resin products certification in the process of ultra-pure water treatment for the semiconductor industry using YinYang towers
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ZGM 005-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-05-24
实施日期
2024-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中国膜工业协会
适用范围
范围:本文件适用于半导体行业超纯水制备用的预处理阴阳塔用离子交换树脂;
主要技术内容:本文件规定了半导体行业超纯水制备用的预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证的技术要求、试验方法
发布历史
-
2021年11月
-
2022年08月
-
2024年05月
-
2025年07月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 江苏苏青水处理工程集团有限公司、宁波争光树脂有限公司、西安蓝晓科技新材料股份有限公司、南京大学、鹤壁市海格化工科技有限公司、蚌埠市天星树脂有限责任公司、中国船舶集团有限公司第七一九研究所、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司
- 起草人：
- 钱平、胡锦强、张力、双陈冬、张烨鹏、杨奇、王钊、张优慰、殷梓卿
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- GB 7956.24-2025 消防车 第24部分：自装卸式消防车 2025-12-02
- GB/T 25068.7-2025 信息技术 安全技术 网络安全 第7部分：网络虚拟化安全 2025-12-02
- GB/T 46839-2025 N-甲基吡咯烷酮(NMP)废气回收及废液循环利用装置技术规范 2025-12-02
- GB/T 46762-2025 稀土永磁体防护层腐蚀试验方法 2025-12-02
- GB/T 46835-2025 塑料 滑动摩擦和磨损 试验参数的确定 2025-12-02
- GB 7956.21-2025 消防车 第21部分：器材消防车 2025-12-02
- GB 7956.22-2025 消防车 第22部分：供液消防车 2025-12-02
- GB/T 46827.1-2025 塑料 甲基丙烯酸甲酯-丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(MABS)模塑和挤出材料 第1部分：命名系统和分类基础 2025-12-02
- GB/T 31817-2025 风力发电设施防护涂装技术规范 2025-12-02
- GB/T 46763-2025 稀土铁硼烧结永磁体晶界扩散效果评价方法 2025-12-02