T/ZGM 005-2024 半导体行业超纯水工艺预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证技术要求
T/ZGM 005-2024 The technical requirements for ion exchange resin products certification in the process of ultra-pure water treatment for the semiconductor industry using YinYang towers
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ZGM 005-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-05-24
实施日期
2024-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中国膜工业协会
适用范围
范围:本文件适用于半导体行业超纯水制备用的预处理阴阳塔用离子交换树脂;
主要技术内容:本文件规定了半导体行业超纯水制备用的预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证的技术要求、试验方法
发布历史
-
2021年11月
-
2022年08月
-
2024年05月
-
2025年07月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 江苏苏青水处理工程集团有限公司、宁波争光树脂有限公司、西安蓝晓科技新材料股份有限公司、南京大学、鹤壁市海格化工科技有限公司、蚌埠市天星树脂有限责任公司、中国船舶集团有限公司第七一九研究所、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司
- 起草人：
- 钱平、胡锦强、张力、双陈冬、张烨鹏、杨奇、王钊、张优慰、殷梓卿
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- DB32/T 5357-2026 城镇消防安全综合评价规范 1970-01-01
- DB32/T 5362-2026 饮用水中隐孢子虫和蓝氏贾第鞭毛虫的核酸检测 重组酶介导等温核酸扩增法 2026-04-03
- DB32/T 5363-2026 县级(区域)医疗资源集中化运行规范 1970-01-01
- DB32/T 5360-2026 建设用地使用权配置合同三维附图规范 1970-01-01
- DB32/T 5356-2026 消防潜水救援规范 1970-01-01
- DB32/T 5361-2026 全民所有自然资源资产清查技术指南 1970-01-01
- DB32/T 5355-2026 再生制冷剂技术要求及实验方法 1970-01-01
- DB32/T 1223-2026 北斗高程测量规范 1970-01-01
- DB32/T 5359-2026 纺织品 花粉、螨虫等过敏原去除活性的测定?酶联免疫吸附法 1970-01-01
- DB32/T 5364-2026 肺癌患者随访与康复指导服务规范 1970-01-01