GB/T 27760-2011 利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

GB/T 27760-2011 Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic steps

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基本信息

标准号

GB/T 27760-2011

标准类型

国家标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

N04 基础标准与通用方法

国际标准分类号（ICS）

19.020 试验条件和规程综合

发布日期

2011-12-30

实施日期

2012-05-01

发布单位/组织

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

归口单位

全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)

适用范围

本标准规定了利用Si（111）晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。
本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜，并且其z向放大倍率达到最大量级，即z向位移在纳米和亚纳米范围内，这是原子力显微镜用于检测半导体表面，光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。
本标准并未指出所有可能的安全问题，在应用本标准之前，使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。