YS/T 1025-2015 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材
YS/T 1025-2015 High-purity tungsten and tungsten alloy sputtering target used in electronic film
行业标准-有色金属
中文简体
现行
页数:10页
|
格式:PDF
基本信息
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、订货单(或合同)等内容。
本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材以下简称高纯钨及钨合金靶。
本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材以下简称高纯钨及钨合金靶。
发布历史
-
2015年04月
研制信息
- 起草单位:
- 宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司、株洲凯特实业有限公司、西安方科新材料科技有限公司
- 起草人:
- 姚力军、王学泽、丁照崇、张涛、扶元初、袁海军、郑文翔、宋佳、苏国平、钱红兵、袁洁、王兴权、张玉利、王越、杜铁路
- 出版信息:
- 页数:10页 | 字数:18 千字 | 开本: 大16开
内容描述
ICS77.150.99
H63
中华人民共和国有色金属行业标准
/—
YST10252015
电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材
Hih-urittunstenandtunstenallosutterintaretused
gpyggypgg
inelectronicfilm
2015-04-30发布2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
中华人民共和国有色金属
行业标准
电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材
/—
YST10252015
*
中国标准出版社出版发行
北京市朝阳区和平里西街甲号()
2100029
北京市西城区三里河北街号()
16100045
网址:
g
服务热线:
400-168-0010
010-68522006
年月第一版
20161
*
书号:·
1550662-29184
版权专有侵权必究
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