T/JSSES 16-2021 集成电路行业废硫酸综合利用技术要求及试验方法

主要技术内容:项        目                             指        标硫酸（H2SO4）质量分数/%≥50过氧化氢质量分数/%         ≤0.1灰分质量分数/%               ≤0.05铜（Cu）质量指标/%      ≤0.0005铁（Fe）质量分数/%      ≤0.01砷（As）质量分数/%      ≤0.0005铅（Pb）质量分数/%       ≤0.01汞（Hg）质量分数/%     ≤0.005镉（Cd）质量分数/%     ≤0.0005铬（Cr）质量分数/%     ≤0.0025镍（Ni）质量分数/%     ≤0.0025总有机碳（TOC）/(mg/L)     ≤500透明度/mm                     ≥30