GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

ICS17.220.20

N26

中华人民共和国国家标准

/—

GBT314702015

俄歇电子能谱与射线光电子能谱测试

X

中确定检测信号对应样品区域的通则

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Standardracticefordeterminationofthesecimenareacontributinto

ppg

thedetectedsinalinAuerelectronsectrometersandsome

ggp

X-rahotoelectronsectrometers

ypp

2015-05-15发布2016-01-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT314702015

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

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Ⅰ

/—

GBT314702015

引言

。

俄歇电子能谱和射线光电子能谱广泛地应用于材料的表面分析本标准总结了对于具有聚焦

X

,,

电子束或聚焦射线束功能的仪器当可扫描区域大于样品被分析器检测到的区域使得通过选择电

X

。

子能量分析器的运行条件来确定观察到的样品区域的方法样品被观察到的区域依赖于电子在能量分

、,,

析之前是否被减速分析器的通过能或者减速比如果电子在能量分析之前被减速所选择的狭缝或孔

。

径及电子能量值可以被测出被观察到的区域依赖电子能量分析器运行条件的选择也可能与样品的适

当的调整有关。

。

本标准可以给出电子能量分析器在特定的运行条件下成像特性的信息这个信息对将分析器性能

与厂商说明书中所描述的进行比较具有一定帮助。

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Ⅱ

/—

GBT314702015

俄歇电子能谱与射线光电子能谱测试

X

中确定检测信号对应样品区域的通则

1范围

本标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。

X

:

本标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的射线光电子能谱入射光束激发的样品区域

XX

;;

大于分析器可检测到的样品区域光电子从样品到分析器入口的过程中经过自由空间装配有辅助电子

枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上。

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

/—表面化学分析词汇(:,)

GBT224612008ISO181152001IDT

/—俄歇电子能谱术和射线光电子能谱术的样品处理标准导则

SJT104581993X

3术语和定义国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页

/—界定的术语和定义适用于本文件。

GBT224612008

4缩略语

下列缩略语适用于本文件。

:()

AES俄歇电子能谱Auerelectronsectrometer

gp

:射线光电子能谱()

XPSXX-rahotoelectronsectrometer

ypp

:()

FWHM半高峰宽fullwidthathalfmaximum

5仪器

5.1试样

,。

建议被测样品是金属箔一类的导体横向的尺寸大于电子能量分析器检测区域的尺寸试样晶粒

,。

尺寸应小于分析器预期的空间分辨率或者入射电子束的直径以避免沟道效应或衍射效应造成的假象

,,。

样品表面应光滑没有刮痕以及凭肉眼可以观察到的类似缺陷使用离子溅射或其他方法来清除

(,、),。

样品表面沾污例如氧化物吸附的碳氢化合物等表面洁净度可以用或测量进行验证

AESXPS

5.2电子枪

,

能谱仪上需装备电子枪以提供入射到被测样品表面使出射信号电子束的能量为100eV~3keV

1

/—

GBT314702015

()。,。

或通常的能量探测范围电子枪应具备偏转的系统使电子束转向样品表面的不同区域

AESXPS

作用于测试样品表面的电子束应小于测试中希望得到的空间分辨率。

5.3电子扫描系统

。

电子扫描系统是电子束在被测样品表面扫描并记录和显示选定的信号所必需的许多商用的能谱

,。

仪特别是那些为扫描俄歇微探针而设计的能谱仪装配了电子扫描系统这些系统使电子束在样品表

。,

面或者选定尺寸的线或光栅区域扫描特定的信号可以被录入计算机系统在示波器或X-Y坐标记录

仪上直接显示出来。

,()

如果没有装配电子扫描系统采用适当的波型发生器三角形或矩形或通过程控电源完成线性扫

。,

描使用直流电源来确定样品上线扫描的正交位置用两个波型发生器或是两个程控电源可以产生光

栅扫描。

6样品区域对检测信号贡献的表述

6.1概述