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T/CITS 159-2024 等离子体用射频电源技术规范

T/CITS 159-2024 The specification for using radio frequency power supply for plasma

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CITS 159-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
31.220.01 机电元件综合
发布日期
2024-10-22
实施日期
2024-10-22
发布单位/组织
-
归口单位
中国检验检测学会
适用范围
范围:本文件规定了等离子体用射频电源的产品分类、技术要求、设计要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等内容。 本文件适用于各种工业和科研等离子体应用场景; 主要技术内容:本文件规定了等离子体用射频电源的产品分类、技术要求、设计要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等内容。本文件适用于各种工业和科研等离子体应用场景

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研制信息

起草单位：
中国科学院合肥物质科学研究院、安徽曦融兆波科技有限公司、江苏神州半导体科技有限公司、深圳市瀚强科技股份有限公司、北京市科学技术研究院、成都德芯数字科技股份有限公司、上海交通大学、深圳市新凯来工业机器有限公司、江阴市天马电源制造有限公司、通标中恒标准化技术研究院（北京）有限公司
起草人：
张新军、朱光辉、朱国俊、杨小春、金小越、李俊、吴林晟、周义兴、李贺、刘岩、吴永利、汪贤峰、时俊伟、徐敬铭、包瑾、徐琳
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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