T/BEA 40001-2022 感应耦合等离子体发生器校准规范

范围:本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的感应耦合等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准; 主要技术内容:1  范围1.1  主题内容本规范规定了感应耦合等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。1.2  适用范围本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的感应耦合等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。2  规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包含勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。JJF 1001-2011通用计量术语及定义3  术语定义3.1  感应耦合等离子体发生器 inductive coupled plasma generator感应耦合等离子体发生器是一种在真空环境下，利用加载在射频感应线圈上的高频功率信号，由电流产生的交变磁场引起感应电场，从而激发和产生高密度稳定等离子体的一种气体电离装置。3.2  等离子体电子密度 plasma electron density单位体积内的等离子体的电子数量，用于表征气体被电离成等离子体的程度，单位为个每立方米（/m3）。3.3  等离子体电子温度 plasma electron temperature当等离子体处于热平衡状态时，用于表征等离子体中电子平均动能的大小，单位为电子伏特（eV）。3.4  径向比 radial direction ratio真空腔室内产生的均匀等离子体区域，沿径向方向与等离子体发生器半径的比值大小。4  概述4.1  用途感应耦合等离子体发生器是一种通过电离气体产生稳定等离子体的一种设备，已被广泛应用于刻蚀加工、电推进等领域。4.2  原理及结构感应耦合等离子体发生器的工作原理为在射频感应线圈上加载射频功率信号，当射频信号通过匹配网络加到天线上时，绕在圆筒形石英筒外边的感应天线会在真空腔室中产生射频磁通，并且在真空腔室的内部沿着圆筒形石英筒的角方向感应出射频电场。真空容器中的电子被电场加速，由这些电子与其它粒子碰撞产生密集的等离子体，同时天线的能量被耦合到等离子体中，从而可以激发和产生高密度等离子体。根据天线类型可将常见的感