1. 当前位置：
  2. 首页 >
  3. 团体标准 >
  4. T/ZOIA 30001-2022

T/ZOIA 30001-2022 MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法

T/ZOIA 30001-2022 MEMS high aspect ratio structure depth measurement method: Spectral reflection method

团体标准 中文(简体) 现行 页数：9页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ZOIA 30001-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L 电子元器件与信息技术
国际标准分类号（ICS）
31.260 光电子学、激光设备
发布日期
2022-12-29
实施日期
2022-12-29
发布单位/组织
-
归口单位
中关村光电产业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容。本标准适用于多种半导体材料上MEMS高深宽比刻蚀结构的深度测量。刻蚀结构包括但不限于单体和阵列的沟槽、柱和孔等

发布历史

文前页预览

T/ZOIA 30001-2022 MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法-第1页
T/ZOIA 30001-2022 MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法-第2页

研制信息

起草单位：
中国科学院微电子研究所、中关村光电产业协会、天津大学、北京绿色制造产业联盟、凌云光技术股份有限公司、北京大学、中国计量科学研究院、北京总部企业协会
起草人：
陈晓梅、霍树春、卢永红、胡春光、杨艺、曲扬、杨芳、施玉书、马晓雪、谷焱绯
出版信息：
页数：9页 | 字数：- | 开本： -

内容描述

ICS31.260

CCSL50

ZOIA

中关村光电产业协会团体标准

T/30001—2022

MEMS高深宽比结构深度测量方法光谱反

射法

DepthmeasurementofMEMShighaspectratiostructures-Opticalspectral

reflectometrymethod

2022-12-29发布2022-12-29实施

中关村光电产业协会发布

目次

前言.................................................................................II

1范围...............................................................................1

2规范性引用文件.....................................................................1

3术语和定义.........................................................................1

4测量原理...........................................................................1

5测量设备...........................................................................2

5.1概述...........................................................................2

5.2宽光谱光源.....................................................................2

5.3LED光源........................................................................2

5.4相机...........................................................................2

5.5光谱仪.........................................................................2

5.6显微物镜.......................................................................2

5.7分光棱镜.......................................................................2

5.8准直镜.........................................................................2

6测量环境要求.......................................................................2

7测量方法...........................................................................3

7.1概述...........................................................................3

7.2测量位置选择...................................................................3

7.3测量步骤.......................................................................3

8测量结果的不确定度评定.............................................................4

8.1A类不确定度....................................................................4

8.2B类不确定度....................................................................4

8.3合成相对不确定度...............................................................5

8.4扩展相对不确定度...............................................................5

9测试报告...........................................................................5

参考文献................

定制服务

    推荐标准

    相似标准推荐

    更多>