T/ZOIA 30001-2022 MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法
T/ZOIA 30001-2022 MEMS high aspect ratio structure depth measurement method: Spectral reflection method
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/ZOIA 30001-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-12-29
实施日期
2022-12-29
发布单位/组织
-
归口单位
中关村光电产业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容。本标准适用于多种半导体材料上MEMS高深宽比刻蚀结构的深度测量。刻蚀结构包括但不限于单体和阵列的沟槽、柱和孔等
发布历史
-
2022年12月
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研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院微电子研究所、中关村光电产业协会、天津大学、北京绿色制造产业联盟、凌云光技术股份有限公司、北京大学、中国计量科学研究院、北京总部企业协会
- 起草人：
- 陈晓梅、霍树春、卢永红、胡春光、杨艺、曲扬、杨芳、施玉书、马晓雪、谷焱绯
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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