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T/ZOIA 30001-2022 MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法

T/ZOIA 30001-2022 MEMS high aspect ratio structure depth measurement method: Spectral reflection method

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ZOIA 30001-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L 电子元器件与信息技术
国际标准分类号（ICS）
31.260 光电子学、激光设备
发布日期
2022-12-29
实施日期
2022-12-29
发布单位/组织
-
归口单位
中关村光电产业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容。本标准适用于多种半导体材料上MEMS高深宽比刻蚀结构的深度测量。刻蚀结构包括但不限于单体和阵列的沟槽、柱和孔等

发布历史

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研制信息

起草单位：
中国科学院微电子研究所、中关村光电产业协会、天津大学、北京绿色制造产业联盟、凌云光技术股份有限公司、北京大学、中国计量科学研究院、北京总部企业协会
起草人：
陈晓梅、霍树春、卢永红、胡春光、杨艺、曲扬、杨芳、施玉书、马晓雪、谷焱绯
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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