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T/ZS 0344-2022 数字化无掩模激光直写光刻机

T/ZS 0344-2022 Digital Maskless Laser Direct Writing Lithography Machine

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ZS 0344-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
N 仪器、仪表
国际标准分类号（ICS）
31.260 光电子学、激光设备
发布日期
2022-11-10
实施日期
2022-11-17
发布单位/组织
-
归口单位
浙江省产品与工程标准化协会
适用范围
主要技术内容:前言1 范围2 规范性引用文件3 术语和定义4 产品分类5 工作环境6 要求6.1 外观、尺寸和重量6.2 主要性能6.3 安全要求6.4 噪声7 试验方法7.1 试验条件7.2 外观检查及尺寸、重量测量7.3 性能试验7.4 安全检查7.5 噪声试验8 检验规则8.1 检验分类8.2 出厂检验8.3 型式检验8.4 判定规则9 标志、包装、运输、贮存9.1 标志9.2 包装9.3 运输9.4 贮存

发布历史

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研制信息

起草单位：
杭州新诺微电子有限公司、中山新诺微电子有限公司、安吉泰熙自动化有限公司、杭州欣俊哲科技有限公司、中山新诺科技股份有限公司、中国计量大学、浙江大学、普赛微科技(杭州)有限公司、纳晶科技股份有限公司
起草人：
陈超、敦士军、王鹏、尚小兵、唐战备、廖平强、零萍、王珺、朱培武、乔家亿、周绍平、简红、许贝贝、周国尊、康永印、陈锡媛、沈肖蓉
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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