1. 当前位置：
  2. 首页 >
  3. 团体标准 >
  4. T/CQPRA 0025-2025

T/CQPRA 0025-2025 半导体热处理硅舟技术规范

T/CQPRA 0025-2025 Technical Specification for Silicon Boats Used in Semiconductor Thermal Processing

团体标准 中文(简体) 废止 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CQPRA 0025-2025
标准类型
团体标准
标准状态
废止
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
03.080.01 服务综合
发布日期
2025-12-02
实施日期
2025-12-02
发布单位/组织
-
归口单位
重庆市国际国内公共关系协会
适用范围
本文件适用于扩散、退火、氧化等高温工艺中使用的石墨、碳化硅及石墨基涂层硅舟。其他用于高温承载用途的治具可参照执行，本文件亦可供制造单位、使用单位及检验机构参考使用。 本文件规定了用于半导体制造中热处理工序的硅舟的技术要求、试验方法、检验规则及标识、包装和贮运要求。具体详见标准文件

发布历史

文前页预览

当前资源暂不支持预览

研制信息

起草单位：
江山市检验检测研究院、浙江省质量科学研究院、常山县检验检测研究院、浙江盾源聚芯半导体科技有限公司、衢州市计量质量检验研究院、浙江夏王纸业有限公司、厦门市华夏国鉴教育研究院
起草人：
祝超、汤知源、邵文杰、刘琳笑、周斌、叶慧、徐璐玲、刘晓政、祝嘉豪、祝建敏、傅文涛、吕斌、徐匡荣、罗申、卢正
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

定制服务

    推荐标准

    相似标准推荐

    更多>