T/CQPRA 0025-2025 半导体热处理硅舟技术规范
T/CQPRA 0025-2025 Technical Specification for Silicon Boats Used in Semiconductor Thermal Processing
团体标准
中文(简体)
废止
页数：0页
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/CQPRA 0025-2025
标准类型
团体标准
标准状态
废止
发布日期
2025-12-02
实施日期
2025-12-02
发布单位/组织
-
归口单位
重庆市国际国内公共关系协会
适用范围
本文件适用于扩散、退火、氧化等高温工艺中使用的石墨、碳化硅及石墨基涂层硅舟。其他用于高温承载用途的治具可参照执行，本文件亦可供制造单位、使用单位及检验机构参考使用。
本文件规定了用于半导体制造中热处理工序的硅舟的技术要求、试验方法、检验规则及标识、包装和贮运要求。具体详见标准文件
发布历史
-
2025年12月
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研制信息
- 起草单位：
- 江山市检验检测研究院、浙江省质量科学研究院、常山县检验检测研究院、浙江盾源聚芯半导体科技有限公司、衢州市计量质量检验研究院、浙江夏王纸业有限公司、厦门市华夏国鉴教育研究院
- 起草人：
- 祝超、汤知源、邵文杰、刘琳笑、周斌、叶慧、徐璐玲、刘晓政、祝嘉豪、祝建敏、傅文涛、吕斌、徐匡荣、罗申、卢正
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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