JB/T 8945-1999 真空溅射镀膜设备

ICS23.160

J78

JB/T8945999－－－1

真空溅射镀膜设备

Vacuumsputteringcoatingplant

1999-07-12发布2000-01-01实施

国家机械工业局发布

JB/T8945－－－－1999

前言

本标准由全国真空技术委员会提出并归口。

本标准起草单位：广东真空设备厂股份有限公司、上海真空泵厂、沈阳真空技术研究所。

本标准主要起草人：蔡东锋、张远青、李春影、李玉英。

I

中华人民共和国机械行业标准

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真空溅射镀膜设备JB/T89451999

Vacuumsputteringcoatingplant

1范围

本标准规定了真空溅射镀膜设备的型号和基本参数，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、

运输和贮存等。

本标准适用于压力在1×10-4~5×10-3Pa范围的真空贱射镀膜设备（以下简称设备）。

2引用标准

下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均

为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。

GB191—1990包装储运图示标志

GB/T6070—1995真空法兰

GB/T11164—1999真空镀膜设备通用技术条件

GB/T13306—1991标牌

JB/T1090—1991J型真空用橡胶密封圈

JB/T1091—1991JO型和骨架型真空用橡胶密封圈型式及尺寸

JB/T1092—1991O型真空用橡胶密封圈型式及尺寸

JB/T7673—1995真空设备型号编制方法

3型号与基本参数

3.1设备的型号应符合JB/T7673的规定。

3.2设备的基本参数应符合表1的规定。

表1基本参数

参数数值

参数名称