SJ 21262-2018 MEMS 惯性器件芯片在片测试技术要求
SJ 21262-2018 Technical requirements for MEMS inertial device chip measurement on wafer
行业标准-电子
中文(简体)
现行
页数：10页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
SJ 21262-2018
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
2018-01-18
实施日期
2018-05-01
发布单位/组织
-
归口单位
工业和信息化部电子第四研究院
适用范围
本标准规定了MEMS惯性器件敏感芯片电参数在片测试的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要求，以及测试流程、测试准备、测试系统连接、参数测试等详细要求
发布历史
-
2018年01月
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 起草人：
- 冯楠、杨拥军、杨琳、李倩、李丽霞、任倩婷、卢新艳
- 出版信息：
- 页数：10页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
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