现行
译：T/JSSES 16-2021 Integrated utilization technology requirements and testing methods for waste sulfuric acid in the integrated circuit industry
适用范围：主要技术内容:项 目 指 标硫酸（H2SO4）质量分数/%≥50过氧化氢质量分数/% ≤0.1灰分质量分数/% ≤0.05铜（Cu）质量指标/% ≤0.0005铁（Fe）质量分数/% ≤0.01砷（As）质量分数/% ≤0.0005铅（Pb）质量分数/% ≤0.01汞（Hg）质量分数/% ≤0.005镉（Cd）质量分数/% ≤0.0005铬（Cr）质量分数/% ≤0.0025镍（Ni）质量分数/% ≤0.0025总有机碳（TOC）/(mg/L) ≤500透明度/mm ≥30
【国际标准分类号(ICS)】 ：01.060量和单位
【中国标准分类号(CCS)】 ：Z00/09环境保护综合
发布单位或类别：(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间： 2021-05-28 | 实施时间： 2021-06-28
