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  • T/SXKJFW 549-2026 团簇离子束超精密抛光设备通用技术规范 现行
    T/SXKJFW 549-2026 团簇离子束超精密抛光设备通用技术规范
    译：T/SXKJFW 549-2026 Cluster ion beam ultra-precision polishing equipment general technical specification
    【国际标准分类号(ICS)】 ：25.080.50磨床和抛光机 【中国标准分类号(CCS)】 ：L97加工专用设备
    发布单位或类别：(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间： 2026-06-01 | 实施时间： 2026-06-01
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