适用范围：本文件规定了激光位移测量传感器的术语和定义、分类与命名、要求、试验方法以及标志和包装。 本文件适用于利用激光作为探测光源，基于三角反射、光谱共焦等光学测量原理，对物体位移、厚度、振动、轮廓、距离等几何量进行非接触测量的工业用激光位移测量传感器。主要适用于高精密微小尺寸检测、零部件平面度与微小段差在线判定，以及工业机器人末端高精度位姿引导等常规自动化操作与量测场景。 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 分类与命名 4.1 分类 4.2 命名 5 要求 5.1 外观与结构 5.2 基本参数 5.3 测量性能 5.4 电气性能 5.5 机械性能 5.6 环境适应性与可靠性 5.7 电磁兼容性 6 试验方法 6.1 试验环境条件 6.2 外观与结构检查 6.3 测量性能试验 6.4 电气性能试验 6.5 机械性能试验 6.6 环境与可靠性试验 6.7 电磁兼容性试验 7 检验规则 8 标志和包装 8.1 标志 8.2 包装 附录A（资料性） 检验规则 参考文献

适用范围：本文件适用于测量范围100 A～1000 A的高精度电流传感器。 本文件规定了高精度电流传感器电气性能检测的检测条件、检测方法、结果处理和检测报告

适用范围：本文件适用于测量范围100 A～1000 A的交流/直流电流测量的高精度智能电流传感器的生产与制造。 本文件规定了高精度智能电流传感器的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存

适用范围：本文件规定了半导体薄膜沉积设备气体管道用质量流量传感器的环境要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存。 本文件适用于半导体薄膜沉积工艺中，对硅烷、氨气、三氟化氮等腐蚀性气体进行高精度质量流量测量的传感器

适用范围：本文件适用于高精度智能型集成温度传感器的设计、生产和检验。 本文件规定了高精度智能型集成温度传感器的设计要求、技术要求、试验方法等内容