T/CMEEEA 102-2026 半导体薄膜沉积设备气体管道用 质量流量传感器
T/CMEEEA 102-2026 Mass flow sensor for gas pipes in semiconductor thin film deposition equipment
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CMEEEA 102-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2026-02-04
实施日期
2026-03-03
发布单位/组织
-
归口单位
中国机电设备工程协会
适用范围
本文件规定了半导体薄膜沉积设备气体管道用质量流量传感器的环境要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存。
本文件适用于半导体薄膜沉积工艺中，对硅烷、氨气、三氟化氮等腐蚀性气体进行高精度质量流量测量的传感器
发布历史
-
2026年02月
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研制信息
- 起草单位：
- 上海微世半导体有限公司、深圳蓝动精密有限公司、成都辰显光电有限公司、北京中研智标技术服务有限公司、北京六只猫创意科技有限公司
- 起草人：
- 丁波、陈嘉辉、黄秀颀、陈瀚、乐志斌、夏卫彬、杨笛
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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