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GB/T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法

GB/T 29852-2013 Test method for measuring phosphorus,arsenic and antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry

国家标准 中文简体 现行 页数：6页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 29852-2013
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H82 元素半导体材料
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2013-11-12
实施日期
2014-04-15
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
本标准规定了用二次离子质谱仪（SIMS）测定光伏电池用硅材料中磷、砷和锑含量的方法。
本标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析，其中磷、砷和锑的浓度均大于1×1014atoms/cm3。
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发布历史

文前页预览

GB/T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法-第1页
GB/T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法-第2页
GB/T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法-第3页

研制信息

起草单位：
信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司
起草人：
马农农、何友琴、王东雪、何秀坤、冯亚彬、裴会川、张雪囡
出版信息：
页数：6页 | 字数：10 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS29.045

H82

中华人民共和国国家标准

/—

GBT298522013

光伏电池用硅材料中、、施主杂质

PAsSb

含量的二次离子质谱测量方法

,

Testmethodformeasurinhoshorusarsenicandantimoninsiliconmaterials

gppy

usedforhotovoltaicalicationsbsecondarionmasssectrometr

pppyypy

2013-11-12发布2014-04-15实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

中华人民共和国

国家标准

光伏电池用硅材料中、、施主杂质

PAsSb

含量的二次离子质谱测量方法

/—

GBT298522013

*

中国标准出版社出版发行

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2100013

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