YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法

YS/T 24-2016 Test methods for spike of epitaxial layers

行业标准-有色金属中文简体现行页数：5页 | 格式：PDF

基本信息

标准号

YS/T 24-2016

相关服务

商用授权

标准类型

行业标准-有色金属

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

H21 金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）

77.040 金属材料试验

发布日期

2016-04-05

实施日期

2016-09-01

发布单位/组织

中华人民共和国工业和信息化部

归口单位

全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

适用范围

本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。
本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4 mm的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。

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