YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法

YS/T 24-2016 Test methods for spike of epitaxial layers

行业标准-有色金属中文简体现行页数：5页 | 格式：PDF

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基本信息

标准号

YS/T 24-2016

标准类型

行业标准-有色金属

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

H21 金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）

77.040 金属材料试验

发布日期

2016-04-05

实施日期

2016-09-01

发布单位/组织

中华人民共和国工业和信息化部

归口单位

全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

适用范围

本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。
本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4 mm的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。

发布历史

1992年03月

YS/T 24-1992　外延钉缺陷的检验方法

废止 1992-03-09
2016年04月

YS/T 24-2016　外延钉缺陷的检验方法

当前标准现行 2016-04-05

文前页预览

研制信息

起草单位：: 南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

起草人：: 马林宝、杨帆、孙燕、徐新华

出版信息：: 页数：5页 | 字数：9 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS77.040

H21

中华人民共和国有色金属行业标准

—

YST242016

代替/—

YST241992

外延钉缺陷的检验方法

Testmethodsforsikeofeitaxiallaers

ppy

2016-04-05发布2016-09-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

—

YST242016

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

/—《》。/—,

本标准代替YST241992外延钉缺陷的检验方法与YST241992相比本标准主要变化

如下:

———

定制服务

关联标准

引用标准

GB/T 14264

GB/T 14264-2024 半导体材料术语

现行

GB/T 14264-1993 半导体材料术语

被代替

GB/T 14264-2009 半导体材料术语

被代替

替代以下标准

YS/T 24-1992

YS/T 24-1992 外延钉缺陷的检验方法

废止

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