YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法
YS/T 24-2016 Test methods for spike of epitaxial layers
行业标准-有色金属
中文简体
现行
页数：5页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 24-2016
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
发布日期
2016-04-05
实施日期
2016-09-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。
本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4 mm的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4 mm的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
发布历史
-
1992年03月
-
2016年04月
研制信息
- 起草单位：
- 南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
- 起草人：
- 马林宝、杨帆、孙燕、徐新华
- 出版信息：
- 页数：5页 | 字数：9 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.040
H21
中华人民共和国有色金属行业标准
—
YST242016
代替/—
YST241992
外延钉缺陷的检验方法
Testmethodsforsikeofeitaxiallaers
ppy
2016-04-05发布2016-09-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
—
YST242016
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
/—《》。/—,
本标准代替YST241992外延钉缺陷的检验方法与YST241992相比本标准主要变化
如下:
———
定制服务
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