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YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法

YS/T 24-2016 Test methods for spike of epitaxial layers

行业标准-有色金属 中文简体 现行 页数：5页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 24-2016
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 金属物理性能试验方法
国际标准分类号（ICS）
77.040 金属材料试验
发布日期
2016-04-05
实施日期
2016-09-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。
本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4 mm的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。

发布历史

文前页预览

YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法-第1页
YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法-第2页
YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法-第3页

研制信息

起草单位：
南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人：
马林宝、杨帆、孙燕、徐新华
出版信息：
页数：5页 | 字数：9 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS77.040

H21

中华人民共和国有色金属行业标准

—

YST242016

代替/—

YST241992

外延钉缺陷的检验方法

Testmethodsforsikeofeitaxiallaers

ppy

2016-04-05发布2016-09-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

—

YST242016

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

/—《》。/—,

本标准代替YST241992外延钉缺陷的检验方法与YST241992相比本标准主要变化

如下:

———

定制服务

    推荐标准

    关联标准

    引用标准
    GB/T 14264
    GB/T 14264-2024 半导体材料术语
    现行
    GB/T 14264-1993 半导体材料术语
    被代替
    GB/T 14264-2009 半导体材料术语
    被代替
    替代以下标准
    YS/T 24-1992
    YS/T 24-1992 外延钉缺陷的检验方法
    废止

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