YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
YS/T 983-2014 Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas
基本信息
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
废止
发布日期
2014-10-14
实施日期
2015-04-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。
本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分(氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅)的测定。检测范围为体积分数0.1%~100%。
本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分(氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅)的测定。检测范围为体积分数0.1%~100%。
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发布历史
-
2014年10月
-
2024年10月
研制信息
- 起草单位:
- 四川新光硅业科技有限责任公司
- 起草人:
- 敖细平、王波、梁洪、刘畅、张华端、古行乾、王阿丽
- 出版信息:
- 页数:8页 | 字数:10 千字 | 开本: 大16开
内容描述
ICS77.040
H17
中华人民共和国有色金属行业标准
/—
YST9832014
多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的
测定方法
ㅤㅤㅤㅤ
Testmethodformeasurincomositionofolsilicon
gppy
deositionreactorandTCStoSTCconverterventas
pg
2014-10-14发布2015-04-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
/—
YST9832014
多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的
测定方法
1范围
本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。
(、、、
本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分氢气氯化氢三氯氢硅二氯二氢硅和
)。。
四氯化硅的测定检测范围为体积分数0.1%~100%
2规范性引用文件
。,
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,()。
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
/、
GBT7445纯氢高纯氢和超纯氢
/、
GBT8979纯氮高纯氮和超纯氮
3方法提要
ㅤㅤㅤㅤ
、,,
根据尾气中各个组分的沸点极性及吸附性的差异利用气相色谱将各个组分从色谱柱中分离采
用热导检测器()检测其含量。
TCD
4干扰因素
,,。
4.1样品温度应不低于50℃否则样品中部分氯硅烷组分会出现冷凝使分析结果失去代表性
,,无法采集至取样容
4.2尾气压力应保持在合适的范围太大不易操作且不安全太小容易导致样品
器内。
,,。
4.3取样容器应保持密闭性否则样品泄漏会影响分析结果的准确性
5试剂和材料
,。
除非另有说明分析时均使用符合国家标准的试剂或材料
,/。
5.1高纯氢气应符合GBT7445的规定
,/
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