YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法

ICS77.040

H17

中华人民共和国有色金属行业标准

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YST9832014

多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的

测定方法

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Testmethodformeasurincomositionofolsilicon

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deositionreactorandTCStoSTCconverterventas

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2014-10-14发布2015-04-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

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YST9832014

多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的

测定方法

1范围

本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。

(、、、

本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分氢气氯化氢三氯氢硅二氯二氢硅和

)。。

四氯化硅的测定检测范围为体积分数0.1%~100%

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

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GBT7445纯氢高纯氢和超纯氢

/、

GBT8979纯氮高纯氮和超纯氮

3方法提要

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、,,

根据尾气中各个组分的沸点极性及吸附性的差异利用气相色谱将各个组分从色谱柱中分离采

用热导检测器()检测其含量。

TCD

4干扰因素

,,。

4.1样品温度应不低于50℃否则样品中部分氯硅烷组分会出现冷凝使分析结果失去代表性

,,无法采集至取样容

4.2尾气压力应保持在合适的范围太大不易操作且不安全太小容易导致样品

器内。

,,。

4.3取样容器应保持密闭性否则样品泄漏会影响分析结果的准确性

5试剂和材料

,。

除非另有说明分析时均使用符合国家标准的试剂或材料

,/。

5.1高纯氢气应符合GBT7445的规定

,/