YS/T 1600-2023 碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 1600-2023 Determination of Trace Impurity Element Content in Silicon Carbide Single Crystals Using Plasma-Based Mass Spectrometry
行业标准-有色金属
简体中文
现行
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|
格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 1600-2023
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
发布日期
2023-04-21
实施日期
2023-11-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
-
适用范围
本文件适用于碳化硅单晶中杂质元素含量的测定。
发布历史
-
2023年04月
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研制信息
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