T/ISR 1012-2026 电子大宗气体纯度控制与监测规范
T/ISR 1012-2026 Specification for purity control and monitoring of electronic bulk gases
团体标准
中文(简体)
现行
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|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ISR 1012-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2026-06-23
实施日期
2026-06-23
发布单位/组织
-
归口单位
河北省企业国际战略发展研究会
适用范围
-
发布历史
-
2026年06月
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研制信息
- 起草单位：
- 广州广钢气体能源股份有限公司、金宏气体股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、福建德天宸新材料科技有限公司、杭氧集团股份有限公司、北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司、长鑫科技集团股份有限公司
- 起草人：
- 邓韬、马二军、李哲峰、潘振环、谷雨、殷梓卿、周苡、胡雪沁、蒋瑱瑱、崔强、方希、邹轩文、舒移平
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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