GB/T 47089-2026 蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法

ICS77040

CCSH.17

中华人民共和国国家标准

GB/T47089—2026

蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的

测定方法

Testmethodfordetermininggeometricalparametersofpatternson

patternedsapphiresubstrate

2026-01-28发布2026-08-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T47089—2026

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分技术委员会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草单位广东中图半导体科技股份有限公司徐州美兴光电科技有限公司京东方华灿光

:、、

电股份有限公司天通银厦新材料有限公司松山湖材料实验室南京同溧晶体材料研究院有限公司

、、、。

本文件主要起草人张能米波肖桂明朱晶王子荣朱广敏康凯鲁雅荣王新强徐军袁冶

:、、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T47089—2026

蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的

测定方法

1范围

本文件描述了蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法

。

本文件适用于蓝宝石图形化衬底表面单个图形和图形阵列几何参数的测定

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

半导体材料术语

GB/T14264

洁净室及相关受控环境第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级

GB/T25915.1—20211:

蓝宝石图形化衬底片

GB/T43662

3术语和定义

和界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T14264GB/T43662。

31

.

点位pointposition

蓝宝石图形化衬底测试位置按照几何中心定义原点坐标依据不同位置的坐标所定位的测试点

,。

4原理

41反射率测定法

.

利用蓝宝石图形化衬底表面不同图形大小对应反射率数值的差异获取反射率平均值反射率最大

,、

值反射率最小值反射率变异系数反射率极差等特征值对整体区域多个图形组成的阵列进行量测表

、、、,

征全面性评估

,。

42原子力显微镜测定法

.

通过收集待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究样品表面

的结构及性质可直接测定蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数中确定位置的图形高度图形底宽

,、。

43扫描电子显微镜测定法

.

用聚焦的很窄的高能电子束扫描样品通过光束与物质间的相互作用激发各种物理信息对这些

,,,

信息收集放大再成像以达到对物质微观形貌表征的目的从而测定蓝宝石图形化衬底表面图形几何

、、,

参数中单个图形的周期高度底宽间距图形底部夹角和图形弧间距

、、、、。

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