GB/T 18193-2000 真空技术 质谱检漏仪校准

23.160

JIC7S8蜀旨

中华人民共和国国家标准

GB/T18193-2000

idtISO3530:1979

真空技术质谱检漏仪校准

Vacuumtechnology一Mass-spectrometer-type

leakdetectorcalibration

2000一09一26发布2001一02一01实施

国家质靛技术监督局发布

Gs/T18193-2000

前言

本标准等同采用ISO3530:1979《真空技术质谱检漏仪校准》，在技术内容上与该国际标准等效。

但是考虑到我国标准本身的特点及汉语的表述习惯，使该标准既与国际标准接轨，又适合我国的国情，

为此，对ISO3530:1979标准的个别内容作了编辑性修改。

本标准由国家机械工业局提出。

本标准由全国真空技术标准化技术委员会归口。

本标准起草单位:沈阳真空技术研究所。

本标准主要起草人:龙方、李春影、任丽华、李玉英。

Gs/T18193-2000

ISO前言

ISO(国际标准化组织)是各国标准协会(ISO成员)世界性的联合组织。制定国际标准工作是通过

ISO技术委员会来进行的。每个成员都有权参加其感兴趣的议题所在的委员会，与ISO有关的国际组

织，政府的和非政府的也参加了这个工作。

技术委员会采纳的国际标准草案，被ISO理事会采纳成为国际标准以前，应发给各个委员会成员。

ISO3530国际标准为ISO/TC112真空技术委员会制定，并于1978年11月发给了每个成员。

本标准由以下国家成员通过:

澳大利亚比利时智利前捷克斯洛伐克

法国德国印度意大利日本

韩国墨西哥荷兰波兰罗马尼亚

南非共和国西班牙英国美国

没有成员表示反对这个文件。

Gs/T18193-2000

ISO引言

该标准规定了质谱检漏仪校准的使用程序，即测定质谱检漏仪灵敏度。但该程序需要使用的一个校

准漏孔和一种标准的气体混合物，不在这个标准的范围内。质谱检漏仪以下简称检“漏仪”。

检漏仪用于机械孔(如针孔)的漏量和通过许多聚合材料而发生的漏气的探测。那些表面解吸、气化

和气穴的虚漏，一般不能用检漏仪探测。

漏率校准范围限制在一个规定的水平，因为对于较大泄漏这个因素是不重要的，而对于漏率小于

10-,zPa"m'"s-，的泄漏，这个因素就变得重要了。

检漏仪检验的对象可以在高真空条件下或者高于大气压下。一般在两种情况下检漏技术将不同。在

第一种情况下，检漏仪通常在接近它的低的极限压力下进行工作;在第二种情况下，检漏仪常被使用在

其最大或接近最大工作压力。对应于这两个工作条件，两个灵敏度术语定为:“最小可检漏率”和“最小可

检浓度比”(见本标准第2章)。

这样定义的两个量是有关系的，但是，从一个数据去算得另一个数据不可行。因此规定了测定两者

的方法。

该标准用在真空技术领域中是一系列泄漏试验程序和装置标准之一。

应用分类:气密性、检漏仪校准、漏孔的校准、气体混合物、检漏仪验收规范和真空设备的气密检验

的一般程序。

上述应用分类中的一些项构成将来标准的课题。

中华人民共和国国家标准

真空技术质谱检漏仪校准cB/T18193-2000

idtISO3530:1979

Vacuumtechnology-Mass-spectrometer-type

leakdetectorcalibration

范围

本标准规定了质谱检漏仪的校准程序它仅适用于校准将灵敏元件处于高真空系统中的检漏仪。因

此这个方法没有制订完整的验收试验。

本标准规定探索气体使用氦一4。但在适当的预防措施下，可以使用其他探索气体，如氢-400

本标准的应用受到检漏仪不能测定小于10-"Pa"m'"s-'漏率漏孔限制。

本标准程序提出了测定最小可检漏率和最小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力

大于一个大气压的检漏仪上。

定义

本标准采用下列定义。

2门本底(或残余信号)background(orresidualsignal)

2门门本底background

没有注人探索气体时，检漏仪给出的总的假象指示(本底发生在质谱管中或在电极电子系统中或同

时发生在两者中。由于离子不同于注人探索气体所产生的离子，所以该术语习惯称为指示)。

2.1.2漂移drift

本底较缓慢的改变。有效的参量是在规定的期间内测得的最大漂移。

2.1.3噪声noise

本底比较快地改变。有效的参量是在规定的期间内测得的噪声。

2.1.4氦本底heliumbackground

由检漏仪壁或检漏系统释放出氦所造成的本底。

2.2元件components

2.2.1人CI管路或试样人口管路inletlineorsampleinletline

探索气体从试验件流到检漏仪经过的管路

2.2.2人口阀inletvalve

连接试样与检漏仪的阀门(见图1)，它是检漏仪的主要部件。

2.2.3漏孔隔离阀leakisolationvalve

安装在试验检漏仪所用的漏孔和试样人口管路之间的阀门(见图1)0

2.2.4抽气阀pumpvalve

安装在抽空试样人口管路使用的粗抽泵和管路之间的阀(见图1),

2.2.5放气I?X]ventvalve

用来引进空气或其他气体进人抽空的空问·以使那里压力增加到大气压的一个阀门(见图1)0

2.2.6补偿控制:调零控制backing-offcontrol,zerocontrol

国家质皿技术监督局2000-09一26批准2001一02-01实施

GB/T18193-2000

检漏仪中的一种电控制，它可以改变仪表的输出指示。当补偿控制用于使输出指示返回到刻度盘的

零时也可称为调零控制。

2.2.7质谱管massspectrometertube

它是检漏仪的一个元件，探索气体在质谱管内被电离并被测定。

2.2.8阴极filament

安装在质谱管内用于电离气体的(热的)电子源。

2.3探索气体searchgas

在真空测试中，作用在被检设备外表面通过漏孔进人设备或在高于一个大气压测试中，充人被检设

备后通过漏孔逸出而进行探测的气体。

2.4漏孔leaks

2.4.1漏孔leak

在真空技术中是一个孔洞、孔隙、渗透因素或一个封闭器壁上的其他结构在压力或浓度差作用下，

使气体从器壁的一侧到另一侧。

也可以是一个可用于向真空系统引人气体的装置。

2.4.2通道漏孔channelleak

可以把它理想地当做长毛细管的一个或多个不连续通道组成的漏孔。

2.4.3薄膜漏孔membraneleak

允许气流通过或渗透穿过无孔壁的一种漏孔。对于氦，这种壁可以是玻璃、石英或其他适合的材料。

2.4.4分子漏孔molecularleak

漏孔的质量流率正比于流动气体分子质量平方根的倒数的一种漏孔。

2.4.5砧滞漏孔viscousleak

漏孔的质量流率正比于流动气体钻度的倒数的一种漏孔。

2.4.6校准漏孔calibratedleak

在规定条件下，对于规定气体已知质量流量的一种漏孔。

2.4.7标准漏孔standardleak

在标准状态下，漏率已知的校准漏孔，即漏孔一端温度为(23士7)0C，压力为(100士5)kPa，而另一

端压力较低致使对漏率的影响可以忽略。

2.4.8虚漏virtualleak

在系统内，由于气体或蒸气的放出所引起的压力增加。

2.5漏率leakrates

2.5.1漏率leakrate

在规定条件下，规定气体通过漏孔的流量(单位为Pa"m'"s-'),

注:体积流率另一称呼是“抽速”。当规定了温度和气体分子质量时，流量和质量流率是等值的。

2.5.2标准空气漏率standardairleakrate

在规定的标准状态下，露点低于一25℃的空气通过一个漏孔的漏量。该标准状态是人口压力为(100

士5)kPa，出口压力低于1kPaI温度为(23士7)0Ca

2.5.3等值标准空气漏率equivalentstandardairleakrate

对