适用范围：本文件规定了真空技术中常用的非刀口法兰的尺寸。 该尺寸确保了固定法兰、活套法兰和卡钳法兰之间的互换性： a)无论是同类型法兰的装配（如固定法兰或卡钳法兰）或者是不同类型法兰的装配（如固定法兰与卡钳法兰通过螺栓或卡钳装配，以及固定法兰与活套法兰通过螺栓装配）； b)无论与法兰配套使用的密封圈是弹性体“O”形密封圈还是金属密封圈，只要与附录C中规定的法兰线性密封载荷兼容即可。

适用范围：本文件规定了真空技术中常用的夹紧型快卸连接器尺寸，以及与夹紧型快卸连接器相配合的O形密封圈及其支架、卡箍和盲板的尺寸。 注：这里规定了夹紧型快卸连接器的通径尺寸，以确保夹紧型快卸连接器与ISO 1609［1］中对应的真空法兰尺寸相匹配。

适用范围：本文件界定了磁悬浮转子真空计(SRG)[2]-[4]相关的术语，规定了SRG所需参数，详细描述了在使 用这些真空计时的校准步骤和所需不确定度分量。本文件适用的压力上限为2 Pa。

适用范围：本文件确立了皮拉尼真空计的参数，描述了其校准步骤，规定了使用这些真空计时要考虑的测量不确定度。 本文件适用于工作压力范围为 0.01 Pa~150 kPa的皮拉尼真空计。 当对皮拉尼真空计进行校准并将其用作参考标准时，本文件是对ISO 3567和ISO 27893的补充。 另外，本文件还描述了皮拉尼真空计响应时间和迟滞的表征方法。

适用范围：本文件及GB/T 40344.1描述了涡轮分子泵的性能测量方法，适用于所有规格和所有型式的涡轮分子泵。包括： ——带机械轴承或磁轴承的； ——带/不带附加牵引级或其他转子抽气级的； ——带一个或多个进气口的。 由于涡轮分子泵有前级泵支持，体积流率-入口压力的曲线不能完全确定涡轮分子泵的性能。同时，涡轮分子泵的驱动装置和前级压力均影响其性能参数。 下列内容用以补充确定其性能参数： ——涡轮分子泵的流量和前级压力； ——压缩比曲线（涡轮分子泵的压缩比-前级压力)。

适用范围：范围:本文件规定了金属薄膜电容式真空计的缩略语、总体要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于金属薄膜电容式真空计（以下简称“真空计”）的设计、生产、检验和使用; 主要技术内容:本文件规定了金属薄膜电容式真空计的缩略语、总体要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。本文件适用于金属薄膜电容式真空计（以下简称“真空计”）的设计、生产、检验和使用

适用范围：主要技术内容:本标准主要规定了采用薄膜电容测量原理的电容薄膜真空计的术语和定义、结构和分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存要求，主要技术内容包括：——预热时间、量程、分辨力、准确度、漏率等基本性能指标要求；——电磁兼容方面的要求；——各项性能指标对应的试验方法以及检验规则等要求

适用范围：范围:本文件规定了半导体薄膜沉积设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于半导体薄膜沉积设备; 主要技术内容:本文件规定了半导体薄膜沉积设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体薄膜沉积设备

适用范围：范围:本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售; 主要技术内容:规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售

适用范围：范围:本文件适用于真空成膜机; 主要技术内容:本文件规定了真空成膜机的术语和定义、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存内容

适用范围：范围:本文件适用于真空蒸发镀膜机; 主要技术内容:本文件规定了真空蒸发镀膜机的术语和定义、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存内容

适用范围：本文件界定了真空技术领域常用的基础术语、真空泵及相关术语、全压和分压真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空冶金术语，及上述术语的定义。 本文件适用于真空技术领域及相关的教学、科研、设计、制造、技术交流，以及编写相关技术文件和书刊。

适用范围：范围:本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。本文件适用于半导体设备用低温泵的评价; 主要技术内容:规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果

适用范围：主要技术内容:本文件规定了节能型管束干燥设备的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于节能型管束干燥机的生产和检验，其他节能型管束干燥设备可参照使用

适用范围：主要技术内容:规定了分子筛式除湿干燥机的类型和基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于分子筛式除湿干燥机

适用范围：本文件描述了机械增压泵的最大容许压差、有效压缩比、零流量压缩比和溢流阀压差的测量方法和特殊要求。本文件适用于中真空或粗真空应用的机械增压泵,包括气冷式机械增压泵及多级机械增压泵系统。本文件涵盖了机械增压泵有别于常见容积真空泵的机械增压特性。最大容许压差（Δpmax）,有效压缩比（Keff），零流量压缩比（K0）和溢流阀压差（Δp1）是机械增压泵性能的特定参数。

适用范围：本文件界定了电容薄膜真空计（CDG）的相关术语，规定了电容薄膜真空计有必要给定的参数，描述了其校准过程和操作仪器过程中有必要考虑的测量不确定度。本文件适用于使用ISO 3567和ISO 27893校准CDG，并作为参考标准时的一个补充说明。

适用范围：主要技术内容:本文件规定了消防管道气密性检测设备的术语和定义、型号、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输及贮存。本规范适用于消防管道气密性检测设备的设计及检验

适用范围：主要技术内容:本文件规定了消防管道气密性检测设备的术语和定义、型号、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输及贮存。本规范适用于消防管道气密性检测设备的设计及检验

适用范围：范围:本文件规定了工业互联网标识解析泵及真空设备行业元数据的术语和定义、元数据属性、标识符命名规则、核心元数据属性、泵产品类别、核心元数据扩展原则和方法; 主要技术内容:本文件适用于指导泵及真空设备行业各参与方如何对在应用工业互联网标识对本行业各类对象进行标识、加工、管理、维护时产生的数据进行存储记录、使用、共享、交换和查询