适用范围：范围:本文件规定了金属薄膜电容式真空计的缩略语、总体要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于金属薄膜电容式真空计（以下简称“真空计”）的设计、生产、检验和使用; 主要技术内容:本文件规定了金属薄膜电容式真空计的缩略语、总体要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。本文件适用于金属薄膜电容式真空计（以下简称“真空计”）的设计、生产、检验和使用

适用范围：主要技术内容:本标准主要规定了采用薄膜电容测量原理的电容薄膜真空计的术语和定义、结构和分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存要求，主要技术内容包括：——预热时间、量程、分辨力、准确度、漏率等基本性能指标要求；——电磁兼容方面的要求；——各项性能指标对应的试验方法以及检验规则等要求

适用范围：范围:本文件规定了半导体薄膜沉积设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于半导体薄膜沉积设备; 主要技术内容:本文件规定了半导体薄膜沉积设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体薄膜沉积设备

适用范围：范围:本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售; 主要技术内容:规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售

适用范围：范围:本文件适用于真空成膜机; 主要技术内容:本文件规定了真空成膜机的术语和定义、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存内容

适用范围：范围:本文件适用于真空蒸发镀膜机; 主要技术内容:本文件规定了真空蒸发镀膜机的术语和定义、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存内容

适用范围：范围:本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。本文件适用于半导体设备用低温泵的评价; 主要技术内容:规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果

适用范围：主要技术内容:本文件规定了节能型管束干燥设备的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于节能型管束干燥机的生产和检验，其他节能型管束干燥设备可参照使用

适用范围：主要技术内容:规定了分子筛式除湿干燥机的类型和基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于分子筛式除湿干燥机

适用范围：主要技术内容:本文件规定了消防管道气密性检测设备的术语和定义、型号、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输及贮存。本规范适用于消防管道气密性检测设备的设计及检验

适用范围：主要技术内容:本文件规定了消防管道气密性检测设备的术语和定义、型号、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输及贮存。本规范适用于消防管道气密性检测设备的设计及检验

适用范围：范围:本文件规定了工业互联网标识解析泵及真空设备行业元数据的术语和定义、元数据属性、标识符命名规则、核心元数据属性、泵产品类别、核心元数据扩展原则和方法; 主要技术内容:本文件适用于指导泵及真空设备行业各参与方如何对在应用工业互联网标识对本行业各类对象进行标识、加工、管理、维护时产生的数据进行存储记录、使用、共享、交换和查询

适用范围：主要技术内容:本文件规定了真空镀膜在线清洗装置的术语和定义、构成及原理、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于真空镀膜在线清洗装置的设计、制造和检验

适用范围：范围:本文件界定了钢包真空脱气精炼炉的术语和定义,规定了分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于对精炼钢水进行真空脱气、吹氧脱碳的钢包真空脱气精炼炉; 主要技术内容:本文件界定了钢包真空脱气精炼炉的术语和定义,规定了分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于对精炼钢水进行真空脱气、吹氧脱碳的钢包真空脱气精炼炉

适用范围：主要技术内容:本文件规定了真空熔覆金刚石技术要求的术语和定义、设备参数要求、系统运行要求、运转期间巡视要求、注意事项。本文件适用于真空熔覆金刚石系统的运行及操作

适用范围：主要技术内容:本文件规定了带式干燥机的标记、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输和贮存、质量承诺。本文件适用于颗粒状、块状、片状、条状物料干燥的带式干燥机（以下简称“带干机”）

适用范围：主要技术内容:本文件规定了真空管束干燥机的术语和定义、型号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空管束干燥机

适用范围：主要技术内容:本标准规定了自动循环式热风干燥机的术语和定义、结构型式和型号分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于自动循环式热风干燥机的生产、检验和验收

适用范围：范围:本文件适用于原子层沉积粉体包覆设备的制造; 主要技术内容:本文件规定了原子层沉积粉体包覆设备的型号编制、组成与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存

适用范围：范围:本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备; 主要技术内容:规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备