T/GVS 010-2022 真空卷绕镀膜设备通用技术要求

T/GVS 010-2022 Universal technical requirements for vacuum spinning coating equipment

团体标准 中文(简体) 现行 页数:0页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
T/GVS 010-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2022-09-23
实施日期
2022-09-23
发布单位/组织
-
归口单位
广东省真空学会
适用范围
范围:本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积(CVD)卷绕镀膜设备; 主要技术内容:规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积(CVD)卷绕镀膜设备

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研制信息

起草单位:
广东腾胜科技创新有限公司、中山凯旋真科技股份有限公司、广东生波尔光电技术有限公司
起草人:
朱刚毅、朱刚劲、杨容军、陈家发、吴洽、李晓刚、姜翠宁、徐从高
出版信息:
页数:- | 字数:- | 开本: -

内容描述

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