T/GVS 010-2022 真空卷绕镀膜设备通用技术要求
T/GVS 010-2022 Universal technical requirements for vacuum spinning coating equipment
团体标准
中文(简体)
现行
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格式:PDF
基本信息
标准号
T/GVS 010-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-09-23
实施日期
2022-09-23
发布单位/组织
-
归口单位
广东省真空学会
适用范围
范围:本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积(CVD)卷绕镀膜设备;
主要技术内容:规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积(CVD)卷绕镀膜设备
发布历史
-
2022年09月
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研制信息
- 起草单位:
- 广东腾胜科技创新有限公司、中山凯旋真科技股份有限公司、广东生波尔光电技术有限公司
- 起草人:
- 朱刚毅、朱刚劲、杨容军、陈家发、吴洽、李晓刚、姜翠宁、徐从高
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
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