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T/GVS 017-2024 连续式光学磁控溅射镀膜设备

T/GVS 017-2024 Continuous optical magnetic-field sputtering coating system

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/GVS 017-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
J 机械
国际标准分类号（ICS）
23.160 真空技术
发布日期
2024-12-24
实施日期
2024-12-24
发布单位/组织
-
归口单位
广东省真空学会
适用范围
范围:本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售; 主要技术内容:规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售

发布历史

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研制信息

起草单位：
广东省新兴激光等离子体技术研究院、等离子体装备科技（广州）有限公司、离子束（广州）装备科技有限公司、广州市尤特新材料有限公司
起草人：
朱昆、李彬、曹祯烨、曹健辉、刘嘉静、杨锐、郑铭浩、周志宏
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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